Kaabo si oju opo wẹẹbu wa
Kaabo si oju opo wẹẹbu wa0086-18429179711 Kaabo si oju opo wẹẹbu wa[email protected] aliyun.com

Kaabo si oju opo wẹẹbu wa

Kaabo si oju opo wẹẹbu wa Kaabo si oju opo wẹẹbu wa Kaabo si oju opo wẹẹbu wa Kaabo si oju opo wẹẹbu wa

Ilana ti magnetron sputtering sputtering afojusun

2021年8月31日

 

Ilana ti sputtering afojusun magnetron sputtering:

Agbegbe oofa orthogonal ati aaye itanna ni a ṣafikun laarin ibi -afẹde ti o tan kaakiri (cathode) ati anode, ati gaasi inert ti a beere (maa Ar gaasi) ti kun ni iyẹwu igbale giga. Awọn fọọmu oofa ti o wa titi 250-350 lori dada ti ohun elo ibi -afẹde. Ilẹ oofa Gaussiani, ati aaye ina mọnamọna giga-giga ṣe agbekalẹ aaye itanna elegede.

Labẹ iṣẹ ti aaye itanna, Ar gaasi ionizes sinu rere ions ati elekitironi. Iwọn odiwọn odi kan kan ni a lo si ibi -afẹde naa. Awọn elekitironi ti o jade lati ibi -afẹde naa ni ipa nipasẹ aaye oofa ati iṣeeṣe ionization ti gaasi iṣiṣẹ pọ si, dida pilasima iwuwo giga nitosi cathode. Labẹ iṣe ti ipa Lorentz, Ar ions yara yara si ibi ti o fojusi ati kọlu aaye ibi -afẹde ni iyara to gaju, ki awọn ọta ti o jade kuro ni ibi -afẹde tẹle ilana ti iyipada iyipada ati fo kuro lati ibi -afẹde pẹlu agbara kainetik giga. Ifiweranṣẹ sobusitireti sinu fiimu.

Sputtering Magnetron ni gbogbo pin si meji orisi: sputtering asẹ ati igbohunsafẹfẹ redio sputtering. Ilana ti ohun elo sputtering ohun elo jẹ irọrun, ati oṣuwọn rẹ tun yara nigbati awọn irin sputtering..Iwọn ohun elo ti sputtering igbohunsafẹfẹ redio jẹ sanlalu diẹ sii. Ni afikun si sputtering conductive ohun elo, ti kii-conductive ohun elo le tun ti wa sputtered. Ni akoko kan naa, o tun le ṣe sputtering ifaseyin lati mura awọn ohun elo idapọ bii oxides, nitrides, ati carbides..Ti igbohunsafẹfẹ igbohunsafẹfẹ redio ba pọ si, o di pilasima makirowefu sputtering. Ni asiko yi, resonance itanna cyclotron (ECR) tẹ pilasima microwave sputtering jẹ lilo nigbagbogbo..

iwọn otutu ti omi ti n ṣaakiri

Kaabo si oju opo wẹẹbu wa Magnetron sputtering afojusun
  • iwọn otutu ti omi ti n ṣaakiri

  • iwọn otutu ti omi ti n ṣaakiri & iwọn otutu ti omi ti n ṣaakiri

  • iwọn otutu ti omi ti n ṣaakiri

  • iwọn otutu ti omi ti n ṣaakiri

    iwọn otutu ti omi ti n ṣaakiri, Ltd. iwọn otutu ti omi ti n ṣaakiri, iwọn otutu ti omi ti n ṣaakiri.

  • Pe wa

    Alagbeka:86-400-660-1855
    iwọn otutu ti omi ti n ṣaakiri:[email protected] aliyun.com
    Oju opo wẹẹbu:www.chn-ti.com