Welcome to our website
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Industrial news

» News » Industrial news

Magnetron sputtering afojusun

2021年10月29日

1) Magnetron sputtering opo.
Ni awọn sputtered afojusun polu (cathode) ati anode laarin afikun ti oofa orthogonal ati aaye ina, ni iyẹwu igbale giga kan ti o kun pẹlu gaasi inert ti a beere (maa Ar gaasi), awọn oofa ti o yẹ ni aaye ohun elo ibi-afẹde lati ṣe aaye oofa ti 250 ~ 350 gauss, pẹlu aaye ina mọnamọna giga lati ṣe aaye itanna eleto orthogonal. Labẹ iṣẹ ti aaye itanna, gaasi Ar ti wa ni ionised sinu rere ions ati elekitironi, afojusun ti wa ni afikun pẹlu kan awọn odi ga foliteji, awọn elekitironi lati ibi-afẹde wa labẹ iṣe ti aaye oofa ati ionisation ti gaasi ṣiṣẹ pọ si, pilasima iwuwo giga ti wa ni akoso nitosi cathode, awọn ions Ar ti wa ni isare labẹ iṣẹ ti agbara Lorentz ati ki o fò si oju ibi-afẹde, bombarding awọn afojusun dada pẹlu kan gan ga iyara, ki awọn ọta ti a tu jade lati ibi-afẹde naa tẹle ilana ti iyipada ipa pẹlu giga Awọn ọta ti a tu lori ibi-afẹde tẹle ilana iyipada agbara kainetic ki o fò kuro ni oju ibi-afẹde si ọna sobusitireti lati fi fiimu kan silẹ. Sputtering Magnetron ni gbogbo pin si meji orisi: DC sputtering ati RF sputtering, nibiti ipilẹ ti ohun elo sputtering DC jẹ rọrun ati pe oṣuwọn yara yara nigbati awọn irin sputtering. RF sputtering, ti a ba tun wo lo, le ṣee lo ni ọpọlọpọ awọn ohun elo ati pe o le sputter awọn ohun elo ti kii ṣe adaṣe ni afikun si awọn ohun elo imudani itanna, bi daradara bi ifaseyin sputtering fun igbaradi ti yellow ohun elo bi oxides, nitrides ati carbides. Ti igbohunsafẹfẹ ti RF ba pọ si o di makirowefu pilasima sputtering, loni, lilo nigbagbogbo jẹ resonance itanna cyclotron (ECR) tẹ pilasima makirowefu sputtering.
2) Orisi ti magnetron sputtering afojusun.
Irin sputtering bo afojusun, alloy sputtering bo afojusun, seramiki sputtering bo afojusun, boride seramiki sputtering afojusun, carbide seramiki sputtering afojusun, fojusi fluoride seramiki sputtering afojusun, nitride seramiki sputtering afojusun, fojusi seramiki afẹfẹ, selenide seramiki sputtering afojusun, silicide seramiki sputtering afojusun, afojusun imi -ọjọ imi -ọjọ imi -ọjọ, telluride seramiki sputtering afojusun, miiran fojusi seramiki, chromium-doped kan silikoni ohun elo seramiki awọn ibi-afẹde (Cr-SiO), indium phosphide fojusi (InP), asiwaju arsenide fojusi (PbAs), indium arsenide fojusi (InAs). [2]
Ohun elo Area Olootu Voice
Bi gbogbo wa ti mọ, aṣa idagbasoke imọ-ẹrọ ti awọn ohun elo ibi-afẹde ni ibatan pẹkipẹki si aṣa idagbasoke ti imọ-ẹrọ fiimu tinrin ni ile-iṣẹ ohun elo isalẹ, ati bi ile-iṣẹ ohun elo ṣe ilọsiwaju imọ-ẹrọ ni awọn ọja fiimu tinrin tabi awọn paati, imọ -ẹrọ ohun elo ibi -afẹde yẹ ki o tun yipada. Fun apere, Ic olupese. Ni igba to šẹšẹ igbẹhin si awọn idagbasoke ti kekere resistivity Ejò onirin, ti wa ni o ti ṣe yẹ a substantially ropo atilẹba aluminiomu fiimu ni awọn tókàn ọdun diẹ, ki awọn idagbasoke ti Ejò afojusun ati awọn won beere idankan Layer afojusun ohun elo yoo jẹ amojuto. Ni afikun, ni awọn ọdun aipẹ, àpapọ nronu alapin (FPD) significantly rọpo tube cathode ray atilẹba (CRT) orisun kọmputa atẹle ati tẹlifisiọnu oja. Yoo tun ṣe alekun imọ-ẹrọ ati ibeere ọja fun awọn ibi-afẹde ITO. Ni afikun, ninu imọ-ẹrọ ipamọ. Iwọn-giga, ga-agbara lile disk, Ibeere disiki opiki ti a tun kọ iwuwo giga n tẹsiwaju lati pọ si. Gbogbo awọn wọnyi ti yori si awọn ayipada ninu ibeere ile-iṣẹ ohun elo fun awọn ohun elo ibi-afẹde. Ni atẹle a yoo ṣafihan awọn agbegbe ohun elo akọkọ ti awọn ohun elo ibi-afẹde, ati aṣa ti idagbasoke ohun elo ibi-afẹde ni awọn agbegbe wọnyi.
Microelectronics
Ile-iṣẹ semikondokito ni awọn ibeere didara ti o nbeere julọ fun awọn fiimu itọsi ibi-afẹde ti ile-iṣẹ ohun elo eyikeyi. Loni, silikoni wafers ti to 12 inches (300 epitodes) ti ṣelọpọ. nigba ti awọn iwọn ti awọn interconnects ti wa ni dinku. Awọn ibeere ti awọn aṣelọpọ wafer silikoni fun awọn iwọn nla, ga ti nw, Iyapa kekere ati awọn irugbin didara nilo pe awọn ibi-afẹde ti a ṣelọpọ ni microstructure ti o dara julọ. Iwọn patiku kristali ati isokan ti ibi-afẹde ti jẹ idanimọ bi ifosiwewe bọtini kan ti o ni ipa lori oṣuwọn fifisilẹ ti fiimu naa.. Ni afikun, awọn ti nw ti awọn fiimu jẹ gíga ti o gbẹkẹle lori awọn ti nw ti awọn afojusun. Ni atijo, a 99.995% (4N5) Ibi-afẹde bàbà mimọ le ni anfani lati pade awọn iwulo ti awọn aṣelọpọ semikondokito fun ilana 0.35 irọlẹ, ṣugbọn ko le pade awọn ibeere ti ilana 0.25um oni, nigba ti 0,18um} aworan tabi paapa 0.13m ilana fun awọn unmetered yoo beere a afojusun ti nw ti 5 tabi paapaa 6N tabi diẹ sii. Ejò akawe pẹlu aluminiomu, Ejò ni o ni kan ti o ga resistance to electromigration ati kekere resistivity lati pade! Ilana olutọsọna nilo wiwọ-micron ni isalẹ 0.25um ṣugbọn o mu awọn iṣoro miiran wa pẹlu rẹ: agbara adhesion ti bàbà si awọn ohun elo dielectric Organic jẹ kekere. Ati rọrun lati fesi, Abajade ni awọn lilo ti awọn ërún Ejò interconnection ila ti wa ni baje ati ki o dà. Lati yanju awọn iṣoro wọnyi, ye lati ṣeto soke a idankan Layer laarin awọn Ejò ati dielectric Layer. Ìdènà Layer ohun elo ti wa ni gbogbo lo ga yo ojuami, resistivity giga ti irin ati awọn agbo ogun rẹ, ki awọn sisanra ti awọn ìdènà Layer jẹ kere ju 50nm, ati Ejò ati iṣẹ dielectric ohun elo ifaramọ dara. Isopọpọ idẹ ati isopọpọ aluminiomu ti ohun elo Layer ìdènà yatọ. Awọn ohun elo ibi-afẹde tuntun nilo lati ni idagbasoke. Isopọpọ idẹ ti Layer ìdènà pẹlu awọn ohun elo ibi-afẹde pẹlu Ta, W, TaSi, WSi, abbl.. Ṣugbọn Ta, W jẹ awọn irin refractory. Gbóògì jẹ jo soro, bayi ti wa ni keko molybdenum, chromium ati wura Taiwan miiran bi awọn ohun elo miiran.
Fun awọn ifihan
Alapin nronu han (FPD) ti ni ipa pataki lori atẹle kọnputa ati ọja tẹlifisiọnu ni awọn ọdun, o kun ni awọn fọọmu ti cathode ray Falopiani (CRT), eyi ti yoo tun wakọ imọ-ẹrọ ati ibeere ọja fun awọn ibi-afẹde ITO. Awọn oriṣi meji ti awọn ibi-afẹde iTO wa loni. Ọkan ni lilo nano-state indium oxide ati tin oxide lulú adalu ati sintered, ọkan ni lilo indium tin alloy afojusun. Awọn ibi-afẹde alloy indium-tin le ṣee lo fun awọn fiimu tinrin ITO nipasẹ itusilẹ ifaseyin DC, ṣugbọn aaye ibi-afẹde yoo oxidise ati ni ipa lori oṣuwọn sputtering, ati pe ko rọrun lati gba iwọn nla ti awọn ibi-afẹde goolu Taiwan. Lasiko yi, akọkọ ọna ti wa ni gbogbo gba lati gbe awọn ITO afojusun, lilo L}IRF ifaseyin sputtering bo. O ni iyara fifisilẹ yara. Ati ki o le parí šakoso awọn sisanra ti awọn fiimu, ga elekitiriki, ti o dara aitasera ti fiimu, ati ki o lagbara alemora si sobusitireti, ati be be lo. l. Ṣugbọn awọn iṣoro iṣelọpọ ohun elo ibi-afẹde, eyiti o jẹ nitori indium oxide ati tin oxide ko rọrun lati sinter papọ. ZrO2, Bi2O3 ati CeO ni gbogbo igba lo bi awọn afikun sintering ati pe wọn ni anfani lati gba awọn ibi-afẹde pẹlu iwuwo ti 93% si 98% ti o tumq si iye. Iṣe ti awọn fiimu ITO ti a ṣẹda ni ọna yii jẹ igbẹkẹle pupọ lori awọn afikun. Awọn onimo ijinlẹ sayensi Japanese lo Bizo bi afikun, Bi2O3 yo ni 820Cr ati pe o ti yipada ni ikọja iwọn otutu sintering ti l500°C. Eyi ngbanilaaye ibi-afẹde ITO mimọ kan lati gba labẹ awọn ipo isunmọ alakoso omi. Pẹlupẹlu, ohun elo aise oxide ti a beere ko ni dandan ni lati jẹ awọn ẹwẹwẹwẹ, eyi ti o simplifies awọn alakoko ilana. Ninu 2000, National Development Planning Commission, Ministry of Science and Technology Ministry of Science and Technology ninu awọn “lọwọlọwọ ayo idagbasoke ti alaye ile ise bọtini agbegbe guide”, ITO ohun elo ibi-afẹde nla tun wa pẹlu.
Fun ibi ipamọ
Ni ipamọ ọna ẹrọ, idagbasoke ti iwuwo giga, Disiki lile agbara-giga nilo nọmba nla ti awọn ohun elo fiimu magnetoresistive nla, ati CoF ~ Cu multilayer film composite film is a ni opolopo lo omiran magnetoresistive film be loni. Ohun elo ibi-afẹde alloy TbFeCo ti o nilo fun awọn disiki oofa ti wa ni idagbasoke siwaju sii, ati awọn disiki oofa ti a ṣe lati inu rẹ ni agbara ipamọ giga, igbesi aye gigun ati pe o le parẹ leralera laisi olubasọrọ. Awọn disiki oofa ti o dagbasoke loni ni eto fiimu idapọpọ Layer ti TbFeCo/Ta ati TbFeCo/Al. Igun iyipo Kerr ti eto TbFeCo/AI ti de 58, nigba ti TbFeCofFa le sunmo si 0.8. O ti rii pe agbara oofa kekere ti awọn ohun elo ibi-afẹde giga foliteji idasilẹ apa kan l koju agbara itanna.
Germanium antimony telluride orisun iyipada awọn iranti (PCM) ti ṣe afihan agbara iṣowo pataki bi imọ-ẹrọ iranti yiyan fun filaṣi iru NOR ati apakan ti ọja DRAM, sibẹsibẹ, ọkan ninu awọn italaya ti o wa ni opopona si igbelosoke yiyara ni aini awọn sẹẹli hermetic ni kikun ti o le ṣe agbejade lati dinku ilọsiwaju lọwọlọwọ. Awọn ṣiṣan atunto isalẹ le dinku lilo agbara iranti, fa igbesi aye batiri sii ati mu iwọn bandiwidi data pọ si, gbogbo awọn ẹya pataki fun data-centric ti ode oni, nyara šee olumulo

 

Maybe you like also

  • Categories

  • Recent News & Blog

  • Share to friend

  • COMPANY

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantalum Niobium Metal Material Co., Ltd. is a Chinese enterprise specializing in the processing of non-ferrous metals, serving global customers with high quality products and perfect after-sales service.

  • Pe wa

    Alagbeka:86-400-660-1855
    E-mail:[email protected] aliyun.com
    Oju opo wẹẹbu:www.chn-ti.com