Chào mừng đén với website của chúng tôi
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Tin công nghiệp

» Tin tức » Tin công nghiệp

Nguyên lý của phún xạ magnetron mục tiêu phún xạ

2021年8月31日

 

Nguyên tắc phún xạ Magnetron: thêm một từ trường trực giao và điện trường giữa mục tiêu bị phún xạ (cực âm) và cực dương, và mục tiêu phún xạ được làm đầy bằng khí trơ cần thiết (thường là khí Ar) trong buồng chân không cao. Nam châm vĩnh cửu tạo thành một 250-350 Từ trường Gauss trên bề mặt của vật liệu mục tiêu, và tạo thành một trường điện từ trực giao với điện trường cao áp..

Dưới tác dụng của điện trường, Khí Ar ion hóa thành các ion dương và các điện tử. Một điện áp cao âm nhất định được áp dụng cho mục tiêu. Các điện tử phát ra từ mục tiêu bị ảnh hưởng bởi từ trường và xác suất ion hóa của khí làm việc tăng lên, hình thành một plasma mật độ cao gần cực âm. Dưới tác dụng của lực Lorentz, Các ion Ar tăng tốc đến bề mặt mục tiêu và bắn phá bề mặt mục tiêu với tốc độ cao, để các nguyên tử văng ra khỏi mục tiêu tuân theo nguyên tắc chuyển đổi động lượng và bay ra khỏi bề mặt mục tiêu với động năng cao hơn. Chất nền lắng đọng thành phim. Magnetron phún xạ thường được chia thành hai loại: Phún xạ DC và phún xạ tần số vô tuyến. Nguyên lý của thiết bị phún xạ DC rất đơn giản. Khi phún xạ kim loại, tốc độ của nó cũng nhanh..

Phạm vi ứng dụng của phún xạ tần số vô tuyến được mở rộng hơn. Ngoài vật liệu dẫn điện phún xạ, vật liệu không dẫn điện cũng có thể bị bắn tung tóe. Đồng thời, nó cũng có thể tiến hành phản ứng phún xạ để điều chế các vật liệu hợp chất như oxit, nitrit, và cacbua..Khi tần số của tần số vô tuyến của mục tiêu phún xạ được tăng lên, nó trở thành phún xạ plasma vi sóng. Hiện tại, cộng hưởng điện tử cyclotron (ECR) loại phún xạ plasma vi sóng thường được sử dụng..

Có thể bạn cũng thích

  • Thể loại

  • Tin tức gần đây & Blog

  • Chia sẻ tới bạn bè

  • CÔNG TY

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantalum Niobium Metal Material Co., Ltd. là một doanh nghiệp Trung Quốc chuyên gia công kim loại màu, phục vụ khách hàng toàn cầu với các sản phẩm chất lượng cao và dịch vụ sau bán hàng hoàn hảo.

  • Liên hệ chúng tôi

    Di động:86-400-660-1855
    E-mail:[email protected] aliyun.com
    Web:www.chn-ti.com