Chào mừng đén với website của chúng tôi
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Tin công nghiệp

» Tin tức » Tin công nghiệp

Ảnh hưởng của phún xạ nhắm đến độ tinh khiết và tính đồng nhất của vật liệu đối với sản xuất lớp phủ diện tích lớn

2021年10月10日

Người chỉnh sửa lớp phủ của vật liệu đích đã được đề cập trước đây, trong quá trình phún xạ, chất lượng của vật liệu mục tiêu cao hơn so với vật liệu của ngành công nghiệp vật liệu truyền thống..Trong bài viết này, người biên tập sẽ tiếp tục giới thiệu tác động của độ tinh khiết và tính đồng nhất vật liệu của vật liệu đích đối với lớp phủ diện tích lớn. Hãy đến và tìm hiểu về nó ~

Độ tinh khiết của vật liệu mục tiêu phún xạ có tác động lớn hơn đến hiệu suất của phim được phủ. Khi kính sạch đi vào buồng phủ chân không cao, nếu độ tinh khiết của vật liệu đích là không đủ, các hạt tạp chất trong vật liệu đích sẽ bám vào bề mặt kính trong quá trình phún xạ dưới tác dụng của điện trường và từ trường. Hiện tượng phân tách xuất hiện chắc chắn., độ tinh khiết của mục tiêu càng cao, hiệu suất của phim lắng đọng càng tốt.

Đối với các mục tiêu có độ dẫn nhiệt kém, chẳng hạn như mục tiêu SiA1, sự hiện diện của các tạp chất trong mục tiêu thường làm cho quá trình truyền nhiệt bị chặn, hoặc sự khác biệt giữa nhiệt độ nước làm mát được sử dụng trong sản xuất và nhiệt độ nước thực tế của dây chuyền sơn, Vân vân., khiến mục tiêu bị nứt trong quá trình sử dụng. Các vết nứt nhỏ sẽ không có tác động lớn đến việc sản xuất lớp phủ., khi có các vết nứt rõ ràng trên vật liệu đích, điện tích rất dễ tập trung vào rìa của phần vết nứt, điều này sẽ gây ra phóng điện bất thường trên bề mặt mục tiêu. Hiện tượng phóng điện sẽ làm rơi xỉ, hình thành màng bất thường, và gia tăng phế liệu sản phẩm., trong quá trình chuẩn bị mục tiêu, ngoài việc kiểm soát độ tinh khiết, các điều kiện của quá trình chuẩn bị cũng cần được kiểm soát.

Đối với các mục tiêu hợp kim, phân phối vật chất không đồng đều thường xảy ra, chẳng hạn như sự kết tụ nhôm trong mục tiêu SiAl, sự phân tách của nhôm trong mục tiêu kẽm-nhôm (khối lượng nguyên tử của nhôm là 27 nhỏ hơn khối lượng nguyên tử của kẽm 65, và nhôm được làm mát trong quá trình làm mát sau khi đổ. Sẽ nổi lên, gây ra hàm lượng nhôm cao ở một bên và thấp ở một bên).Do nhiệt độ nóng chảy thấp, Al kết tụ trong mục tiêu SiA1 dễ bị lẫn trong quá trình hình thành màng phún xạ, và lượng A1 được bổ sung trong quá trình phun là chắc chắn. Khi một phần của sự kết tụ xảy ra, nó chỉ ra rằng hàm lượng nhôm ở các vị trí khác ít hơn, điều này ảnh hưởng đến mục tiêu SiA1. Tính dẫn nhiệt và dẫn điện của phim, dẫn đến tỷ lệ phún xạ không nhất quán, độ đồng đều của phim kém, sự nứt vỡ của vật liệu đích, làm trầm trọng thêm hiện tượng phóng điện đích, và cũng làm giảm chất lượng hình thành màng. (tính đồng nhất của phim) và thành phần phim., ngoài việc kiểm soát độ tinh khiết của vật liệu đích, sự phân bố của vật liệu trong mục tiêu hợp kim cũng rất quan trọng.

Có thể bạn cũng thích

  • Thể loại

  • Tin tức gần đây & Blog

  • Chia sẻ tới bạn bè

  • CÔNG TY

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantalum Niobium Metal Material Co., Ltd. là một doanh nghiệp Trung Quốc chuyên gia công kim loại màu, phục vụ khách hàng toàn cầu với các sản phẩm chất lượng cao và dịch vụ sau bán hàng hoàn hảo.

  • Liên hệ chúng tôi

    Di động:86-400-660-1855
    E-mail:[email protected] aliyun.com
    Web:www.chn-ti.com