Chào mừng đén với website của chúng tôi
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Tin công nghiệp

» Tin tức » Tin công nghiệp

Nguyên lý của mục tiêu phún xạ magnetron

2021年8月31日

 

Nguyên lý của phún xạ magnetron mục tiêu phún xạ:

Một từ trường trực giao và điện trường được thêm vào giữa mục tiêu phún xạ (cực âm) và cực dương, và khí trơ cần thiết (thường là khí Ar) được làm đầy trong buồng chân không cao. Nam châm vĩnh cửu hình thành 250-350 trên bề mặt của vật liệu đích. Từ trường Gaussian, và điện trường cao áp tạo thành một trường điện từ trực giao.

Dưới tác dụng của điện trường, Khí Ar ion hóa thành các ion dương và các điện tử. Một điện áp cao âm nhất định được áp dụng cho mục tiêu. Các điện tử phát ra từ mục tiêu bị ảnh hưởng bởi từ trường và xác suất ion hóa của khí làm việc tăng lên, hình thành một plasma mật độ cao gần cực âm. Dưới tác dụng của lực Lorentz, Các ion Ar tăng tốc đến bề mặt mục tiêu và bắn phá bề mặt mục tiêu với tốc độ cao, để các nguyên tử văng ra khỏi mục tiêu tuân theo nguyên tắc chuyển đổi động lượng và bay ra khỏi bề mặt mục tiêu với động năng cao hơn. Chất nền lắng đọng thành phim.

Magnetron phún xạ thường được chia thành hai loại: phún xạ nhánh và phún xạ tần số vô tuyến. Nguyên tắc của thiết bị phún xạ nhánh rất đơn giản, và tốc độ của nó cũng nhanh khi phún xạ kim loại. Phạm vi ứng dụng của phún xạ tần số vô tuyến rộng hơn. Ngoài vật liệu dẫn điện phún xạ, vật liệu không dẫn điện cũng có thể bị bắn tung tóe. Đồng thời, nó cũng có thể tiến hành phản ứng phún xạ để điều chế các vật liệu hợp chất như oxit, nitrit, và cacbua..Nếu tần số của tần số vô tuyến được tăng lên, nó trở thành phún xạ plasma vi sóng. Hiện tại, cộng hưởng điện tử cyclotron (ECR) loại phún xạ plasma vi sóng thường được sử dụng..

Có thể bạn cũng thích

  • Thể loại

  • Tin tức gần đây & Blog

  • Chia sẻ tới bạn bè

  • CÔNG TY

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantalum Niobium Metal Material Co., Ltd. là một doanh nghiệp Trung Quốc chuyên gia công kim loại màu, phục vụ khách hàng toàn cầu với các sản phẩm chất lượng cao và dịch vụ sau bán hàng hoàn hảo.

  • Liên hệ chúng tôi

    Di động:86-400-660-1855
    E-mail:[email protected] aliyun.com
    Web:www.chn-ti.com