Sản xuất và ứng dụng Mục tiêu phún xạ nhôm titan phủ PVD

Phương pháp đúc truyền thống được sử dụng và phương pháp luyện kim bột để sản xuất mục tiêu hợp kim nhôm titan.

Phương pháp đúc các mục tiêu hợp kim nhôm titan không thể tránh khỏi hiện tượng xốp và co ngót. Ống và thỏi nhôm đúc titan kích thước lớn không thể đảm bảo hiệu quả bịt kín và chống thấm nước khi làm mục tiêu ống quay, và như thành ống được khắc, độ dày của bức tường thay đổi Mỏng, lỗ lỏng lẻo và co ngót miễn là có một lỗ được kết nối, niêm phong sẽ trở nên tồi tệ hơn, những cái nhẹ hơn sẽ bị rò rỉ, ống mục tiêu sẽ bắt đầu phóng điện, hoặc một lượng lớn tạp chất sẽ tham gia phản ứng và làm cho màng bị rơi hoặc sai màu..Trong trường hợp nặng, nước được bơm trực tiếp từ khoang co ngót vào khoang chân không, sẽ làm ô nhiễm khoang thực và thiết bị chân không.

Quy trình luyện kim bộtMục tiêu nhôm titanKhông có vấn đề về độ xốp và co ngót, nhưng từ quan điểm vi mô của luyện kim bột, nó cũng là một vật liệu xốp, vì vậy nếu bạn muốn làmMục tiêu ống xoay bằng nhôm titan, Các yêu cầu về độ nén của vật liệu rất nghiêm ngặt, mật độ phải lớn hơn 98%, nhưng đáp ứng các yêu cầu về mật độ không có nghĩa là nó có thể được sử dụng. Nếu hàm lượng oxy trong thỏi nhôm titan cao và cấu trúc vi mô không hợp lý, ứng suất bên trong của thỏi nhôm titan là lớn, và nó rất dễ sụp đổ, và nó không thể được sử dụng làm mục tiêu ống quay. Vì vậy, có nhiều yêu cầu đối với sản xuất bột và tỷ lệ kích thước hạt.. Ngay cả khi các điều kiện này được đáp ứng, vòng nhôm titan luyện kim bột cần được buộc vào ống thép không gỉ hoặc ống titan. Do hệ số giãn nở nhiệt của nhôm titan lớn, sự mở rộng mục tiêu cục bộ có thể đạt đến 0 trong quá trình phún xạ..5 ～ 1m, vì vậy phương pháp ràng buộc thỏi truyền thống không thể giải quyết vấn đề này một cách hiệu quả. Sự phân tách các thỏi liên kết titan và nhôm xảy ra, và năng lượng nhiệt của bề mặt mục tiêu không thể được dẫn và bùng nổ..Tuy nhiên, trái phiếu kết hợp chặt chẽ là không đáng tin cậy, và chất lượng của mục tiêu hợp kim nhôm titan phun plasma là kém..

Đồng hồ trang trí phủ vàng hồng, trang sức, và các ngành công nghiệp kính mắt. Gần đây, nhiều yêu cầu không chứa carbon và hơn nữa làm cho màu hồng bên dưới gần với mặt vàng hồng.. Theo ý kiến ​​của chúng tôi, TiCN không còn có thể đáp ứng các yêu cầu. TiAlN là giải pháp hoàn hảo nhất. Trang sức đồng hồ cấp thấp không có yêu cầu về độ dày và độ bóng của màng. Hầu hết trong số họ sử dụng mục tiêu nhôm titan hồ quang để lắng đọng TiAlN. Đồng hồ hàng hiệu cao cấp yêu cầu độ dày trên 1um và độ bóng. Không thể rơi. Hồ quang bị ảnh hưởng bởi các giọt nhỏ và không có lợi thế về màng mịn và dày.O’KellyCó thể thấy từ phản hồi của đơn đặt hàng cung cấp hiện tại rằng cách tốt hơn là nạp tiền vào TiAIN với mục tiêu ống quay, không chỉ màu gần với vàng hồng, nhưng độ bóng sẽ không bị ảnh hưởng sau khi tăng độ dày..