Chào mừng đén với website của chúng tôi
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Tin công nghiệp

» Tin tức » Tin công nghiệp

Mật độ tương đối và độ xốp của vật liệu mục tiêu ảnh hưởng như thế nào đến chất lượng của lớp phủ ??

2021年10月10日

Mật độ tương đối của mục tiêu là tỷ số giữa mật độ thực của mục tiêu với mật độ lý thuyết. Mật độ lý thuyết của mục tiêu một thành phần là mật độ tinh thể. Tỷ trọng lý thuyết của mục tiêu hợp kim hoặc hỗn hợp được xác định bởi tỷ trọng lý thuyết của từng thành phần và thành phần của nó trong hợp kim hoặc hỗn hợp. Tính theo phần trăm. Cấu trúc của mục tiêu phun nhiệt lỏng và xốp, và hàm lượng oxy cao (ngay cả khi nó là phun chân không, khó tránh khỏi việc tạo ra các oxit và nitrua trong mục tiêu hợp kim), bề mặt màu xám, thiếu ánh kim loại, và các tạp chất bị hấp phụ và độ ẩm là những yếu tố chính. Nguồn ô nhiễm cản trở việc thu nhận chân không cao một cách nhanh chóng, dễ dẫn đến phóng điện trong quá trình phún xạ, và thậm chí đốt cháy vật liệu mục tiêu.

Đồng thời, nhiệt độ cao tức thời của bề mặt phún xạ của mục tiêu sẽ dễ dàng làm cho các hạt rời ra, làm ô nhiễm bề mặt kính, và ảnh hưởng đến chất lượng của lớp phủ.. Mật độ tương đối càng cao, tốc độ hình thành màng càng nhanh và quá trình phún xạ càng ổn định..Theo sự khác biệt trong quá trình chuẩn bị của vật liệu mục tiêu, mật độ tương đối của mục tiêu đúc hợp nhất phải được đảm bảo ở trên 98%, và mục tiêu luyện kim bột phải được đảm bảo ở trên 97% để sử dụng trong sản xuất..Vì vậy, Cần kiểm soát chặt chẽ mật độ vật liệu tiêu để giảm hiện tượng rơi xỉ. Vật liệu tiêu phun có tỷ trọng thấp, chi phí chuẩn bị thấp.. Khi mật độ tương đối có thể đảm bảo nhiều hơn 90%, nó thường không ảnh hưởng đến việc sử dụng. Hiện tại, các mục tiêu SiA1 được sử dụng ở Trung Quốc đều là mục tiêu phun..

Ngoài việc cô đặc, nếu vật liệu mục tiêu bất thường trong quá trình sản xuất, chẳng hạn như các hạt lớn rơi ra hoặc các lỗ co lại khi bị nung nóng, nhiều lỗ chân lông (khuyết tật bên trong) sẽ được hình thành, và bên trong vật liệu đích sẽ có vẻ lớn hơn (mục tiêu tan chảy>2mm, mục tiêu phun> 0.5mm) hoặc các lỗ dày đặc hơn sẽ phóng điện do sự tập trung của các điện tích, Điều này sẽ ảnh hưởng đến việc sử dụng. Các sản phẩm có mật độ thấp và lỗ rỗng dễ bị sứt mẻ trong quá trình xử lý tiếp theo, Xử lý hoặc lắp đặt. Vật liệu mục tiêu có mật độ tương đối cao và ít lỗ rỗng có khả năng dẫn nhiệt tốt, và nhiệt trên bề mặt của vật liệu đích phún xạ được truyền dễ dàng và nhanh chóng vào bề mặt bên trong của vật liệu đích hoặc nước làm mát trong lớp lót, và tản nhiệt tốt, do đó đảm bảo sự ổn định của quá trình tạo màng.

Có thể bạn cũng thích

  • Thể loại

  • Tin tức gần đây & Blog

  • Chia sẻ tới bạn bè

  • CÔNG TY

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantalum Niobium Metal Material Co., Ltd. là một doanh nghiệp Trung Quốc chuyên gia công kim loại màu, phục vụ khách hàng toàn cầu với các sản phẩm chất lượng cao và dịch vụ sau bán hàng hoàn hảo.

  • Liên hệ chúng tôi

    Di động:86-400-660-1855
    E-mail:[email protected] aliyun.com
    Web:www.chn-ti.com