Chào mừng đén với website của chúng tôi
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Tin tức

» Tin tức

Phân tích vấn đề nhiễm độc và đen nửa mục tiêu sau khi phún xạ.

2021年8月31日

 

Câu hỏi: Công nghệ phún xạ magnetron phản ứng lắng đọng màng zirconium nitride, mục tiêu là hai inch, khí phún xạ là argon, khí phản ứng là N2, công suất là 300W, nguồn cung cấp điện tần số vô tuyến, lắng đọng là hai giờ, và mục tiêu được đưa ra sau khi hoàn thành. Nhìn vào hiện tượng được mô tả trong tiêu đề, cho dù đó là đầu độc mục tiêu hay các lý do khác, nhưng tại sao chỉ một nửa trong số đó xuất hiện?

Phân tích lý do 1: Nó có thể liên quan đến sự ra đời của công suất tần số vô tuyến

Phân tích lý do 2: Một mục tiêu nhỏ như vậy, Hai inch?Đồng phục làm mát có phải không?

Phân tích lý do 3: 300Sức mạnh của W được thêm vào một mục tiêu nhỏ như vậy, có thể tiếp tục làm mát không, gây ra một nửa màu đen!

Phân tích lý do 4: không đủ làm mát. nhiệt độ quá cao?

Phân tích lý do 5: Nó có thể liên quan đến công suất cao. Tôi chỉ dám tăng sức mạnh của mục tiêu có đường kính 60 đến khoảng 100W.

Phân tích nguyên nhân 6: Nguồn điện có ổn định trong hai giờ không Có thể do năng lượng quá cao, hoặc nó có thể là mặt của mục tiêu chạm vào một bộ phận nối đất

Phân tích lý do 7: Người ta nghi ngờ rằng có vấn đề về độ kín khí, suy nghĩ cá nhân

Dung dịch 1: Gợi ý 1) Kiểm tra tính đồng nhất của khí; 2) Có rò rỉ không khí ở một bên hay không?

Dung dịch 2: Bạn nên thực hiện phân tích XPS, hoặc làm lại thí nghiệm.

Tóm lược: Dựa trên phân tích trên, nguyên nhân chính khiến mục tiêu bị nhiễm độc và có màu đen là do nhiệt độ quá cao, nguồn điện không ổn định, tính đồng nhất của khí và độ kín khí. Kiểm tra các nguyên nhân chính có thể có, và khắc phục sự cố chúng từng bước.

Có thể bạn cũng thích

  • Thể loại

  • Tin tức gần đây & Blog

  • Chia sẻ tới bạn bè

  • CÔNG TY

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantalum Niobium Metal Material Co., Ltd. là một doanh nghiệp Trung Quốc chuyên gia công kim loại màu, phục vụ khách hàng toàn cầu với các sản phẩm chất lượng cao và dịch vụ sau bán hàng hoàn hảo.

  • Liên hệ chúng tôi

    Di động:86-400-660-1855
    E-mail:[email protected] aliyun.com
    Web:www.chn-ti.com