Chào mừng đén với website của chúng tôi
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Tin công nghiệp

» Tin tức » Tin công nghiệp

Ưu điểm của mục tiêu phún xạ magnetron hình trụ và phẳng

2021年10月19日

So với các dạng mục tiêu phún xạ magnetron khác, các mục tiêu phún xạ magnetron hình trụ và phẳng vẫn giữ được các ưu điểm của độ đồng đều lớp phủ tốt đối với các mục tiêu phẳng hình chữ nhật, và có thể tối đa hóa vật liệu mục tiêu thông qua hai cách sau Tỷ lệ sử dụng:

(1) Khi hai nhóm (bốn) của các hố hình vòng trên bề mặt mục tiêu đạt đến độ sâu nhất định, cốt lõi mục tiêu (phần nam châm) có thể xoay 45 ° so với ống mục tiêu, để các khu vực khác trên ống mục tiêu không bị ăn mòn có thể được Tận dụng

(2) Khi lõi mục tiêu của mục tiêu phún xạ magnetron hình trụ và phẳng được thiết kế như lõi mục tiêu quay, (lõi mục tiêu đang quay trong quá trình phún xạ), bề mặt của vật liệu đích có thể được rải đều từng lớp một, và Sẽ không có hố. Tại thời điểm này, vật liệu mục tiêu sẽ được sử dụng hiệu quả nhất, và tỷ lệ sử dụng vật liệu mục tiêu có thể đạt được 50% đến 60%. Khi vật liệu đích là vật liệu kim loại quý, điều này chắc chắn có ý nghĩa to lớn..

Bằng cách áp dụng nguyên tắc của nam châm và chiếc giày trong mục tiêu phún xạ magnetron hình trụ đồng trục để giải quyết vấn đề của từ trường cuối, mục tiêu phẳng hình chữ nhật có thể được phát triển thành hình trụ, mục tiêu phún xạ magnetron phẳng, giữ lại lớp phủ của mục tiêu phẳng hình chữ nhật Trong trường hợp đồng nhất tốt, tỷ lệ sử dụng vật liệu mục tiêu có thể được tối đa hóa, từ đó nâng cao lợi ích kinh tế.

Có thể bạn cũng thích

  • Thể loại

  • Tin tức gần đây & Blog

  • Chia sẻ tới bạn bè

  • CÔNG TY

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantalum Niobium Metal Material Co., Ltd. là một doanh nghiệp Trung Quốc chuyên gia công kim loại màu, phục vụ khách hàng toàn cầu với các sản phẩm chất lượng cao và dịch vụ sau bán hàng hoàn hảo.

  • Liên hệ chúng tôi

    Di động:86-400-660-1855
    E-mail:[email protected] aliyun.com
    Web:www.chn-ti.com