Ласкаво просимо на наш веб -сайт
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Новини промисловості

» Новини » Новини промисловості

Принцип розпилення цільового магнетронного розпилення

202131 серпня

 

Принцип магнетронного напилення: додати ортогональне магнітне поле та електричне поле між розпиленою мішенню (катод) і анод, і мішень для напилення заповнюється необхідним інертним газом (зазвичай газ Ar) у камері високого вакууму. Постійний магніт утворює а 250-350 Магнітне поле Гаусса на поверхні матеріалу -мішені, і утворює ортогональне електромагнітне поле з високовольтним електричним полем..

Під дією електричного поля, Ar газ іонізується в позитивні іони та електрони. До цілі подається певна негативна висока напруга. На електрони, що випромінюються з мішені, впливає магнітне поле, і ймовірність іонізації робочого газу зростає, утворення плазми високої щільності поблизу катода. Під дією сили Лоренца, Іони Ar прискорюються до поверхні цілі і бомбардують її з великою швидкістю, так що атоми, випилені з цілі, дотримуються принципу перетворення імпульсу і відлітають від поверхні мішені з більшою кінетичною енергією. Осадження підкладки у плівку. Магнетронне розпилення зазвичай поділяється на два типи: Розпилення постійним струмом і радіочастотне напилення. Принцип роботи устаткування для розпилення постійного струму простий. При напиленні металу, його швидкість також висока..

Діапазон застосування радіочастотного напилення більш широкий. Крім розпилення струмопровідних матеріалів, непровідні матеріали також можна розпилювати. В той самий час, він також може проводити реакційне розпилення для одержання складних матеріалів, таких як оксиди, нітридів, і карбіди .. Коли частота радіочастоти розпилювальної мішені збільшується, воно стає мікрохвильовим плазмовим розпиленням. Наразі, електронно -циклотронний резонанс (ECR) Зазвичай використовується мікрохвильове плазмове розпилення..

Можливо, вам також сподобається

  • Категорії

  • Останні новини & Блог

  • Поділіться з другом

  • КОМПАНІЯ

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantalum Niobium Metal Material Co., ТОВ. -це китайське підприємство, що спеціалізується на переробці кольорових металів, обслуговування глобальних клієнтів високоякісною продукцією та бездоганним післяпродажним обслуговуванням.

  • Зв'яжіться з нами

    Мобільний:86-400-660-1855
    Електронна пошта:[email protected] aliyun.com
    Інтернет:www.chn-ti.com