Ласкаво просимо на наш веб -сайт
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Новини промисловості

» Новини » Новини промисловості

Принцип магнетронного розпилення мішені

202131 серпня

 

Принцип розпилення цільового магнетронного розпилення:

Між розпиленою мішенню додаються ортогональне магнітне поле та електричне поле (катод) і анод, та необхідний інертний газ (зазвичай газ Ar) заливається у камеру високого вакууму. Формується постійний магніт 250-350 на поверхні цільового матеріалу. Гаусове магнітне поле, і високовольтне електричне поле утворюють ортогональне електромагнітне поле.

Під дією електричного поля, Ar газ іонізується в позитивні іони та електрони. До цілі подається певна негативна висока напруга. На електрони, що випромінюються з мішені, впливає магнітне поле, і ймовірність іонізації робочого газу зростає, утворення плазми високої щільності поблизу катода. Під дією сили Лоренца, Іони Ar прискорюються до поверхні цілі і бомбардують її з великою швидкістю, так що атоми, випилені з цілі, дотримуються принципу перетворення імпульсу і відлітають від поверхні мішені з більшою кінетичною енергією. Осадження підкладки у плівку.

Магнетронне розпилення зазвичай поділяється на два типи: розпилення притоків і радіочастотне напилення. Принцип роботи обладнання для розпилення притоків простий, і його швидкість також висока при розпиленні металів. Діапазон застосування радіочастотного напилення більш широкий. Крім розпилення струмопровідних матеріалів, непровідні матеріали також можна розпилювати. В той самий час, він також може проводити реакційне розпилення для одержання складних матеріалів, таких як оксиди, нітридів, і карбіди .. Якщо частоту радіочастоти збільшити, воно стає мікрохвильовим плазмовим розпиленням. Наразі, електронно -циклотронний резонанс (ECR) Зазвичай використовується мікрохвильове плазмове розпилення..

Можливо, вам також сподобається

  • Категорії

  • Останні новини & Блог

  • Поділіться з другом

  • КОМПАНІЯ

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantalum Niobium Metal Material Co., ТОВ. -це китайське підприємство, що спеціалізується на переробці кольорових металів, обслуговування глобальних клієнтів високоякісною продукцією та бездоганним післяпродажним обслуговуванням.

  • Зв'яжіться з нами

    Мобільний:86-400-660-1855
    Електронна пошта:[email protected] aliyun.com
    Інтернет:www.chn-ti.com