Web sitemize hoşgeldiniz
0086-18429179711 [email protected]

endüstriyel haberler

» Haberler » endüstriyel haberler

Magnetron püskürtme püskürtme hedefi ilkesi

2021年8月31日

 

Püskürtme hedef magnetron püskürtme ilkesi:

Püskürtülen hedef arasına ortogonal bir manyetik alan ve elektrik alanı eklenir (katot) ve anot, ve gerekli inert gaz (genellikle Ar gazı) yüksek vakum odasına doldurulur. Kalıcı mıknatıs formları 250-350 hedef malzemenin yüzeyinde. Gauss manyetik alanı, ve yüksek voltajlı elektrik alanı ortogonal bir elektromanyetik alan oluşturur.

Elektrik alanının etkisi altında, Ar gazı pozitif iyonlara ve elektronlara iyonlaşır. Hedefe belirli bir negatif yüksek voltaj uygulanır.. Hedeften yayılan elektronlar manyetik alandan etkilenir ve çalışma gazının iyonlaşma olasılığı artar., katodun yakınında yüksek yoğunluklu bir plazma oluşturan. Lorentz kuvvetinin etkisi altında, Ar iyonları hedef yüzeye hızlanır ve hedef yüzeyi yüksek hızda bombalar., böylece hedeften sıçrayan atomlar momentum dönüşümü ilkesini takip eder ve daha yüksek kinetik enerji ile hedef yüzeyden uçarlar.. Filme substrat biriktirme.

Magnetron püskürtme genellikle iki türe ayrılır: bağımlı püskürtme ve radyo frekansı püskürtme. Bağımlı püskürtme ekipmanının prensibi basittir, ve metalleri püskürtürken hızı da hızlıdır. Radyo frekansı püskürtmenin uygulama aralığı daha geniştir.. İletken malzemelerin püskürtülmesinin yanı sıra, iletken olmayan malzemeler de püskürtülebilir. Aynı zamanda, oksitler gibi bileşik malzemeleri hazırlamak için reaktif püskürtme de yapabilir., nitrürler, ve karbürler.. Radyo frekansının frekansı artırılırsa, mikrodalga plazma püskürtme olur. Şu anda, elektron siklotron rezonansı (ECR) tipi mikrodalga plazma püskürtme yaygın olarak kullanılır..

belki sen de seversin

  • Kategoriler

  • Son Haberler & Blog

  • Arkadaşla paylaş

  • ŞİRKET

    Shaanxi Zhongbei Titanyum Tantal Niobyum Metal Malzeme Co., Ltd.. demir dışı metallerin işlenmesinde uzmanlaşmış bir Çinli kuruluştur, yüksek kaliteli ürünler ve mükemmel satış sonrası hizmet ile küresel müşterilere hizmet vermek.

  • Bizimle iletişime geçin

    Mobil:86-400-660-1855
    e-posta:[email protected]
    ağ:www.chn-ti.com