PVD kaplı titanyum alüminyum Püskürtme hedeflerinin üretimi ve uygulaması

Titanyum alüminyum alaşımlı hedef üretmek için geleneksel olarak kullanılan döküm yöntemi ve toz metalurjisi yöntemi.

Titanyum alüminyum alaşımlı hedeflerin döküm yöntemi, gözenekliliği ve büzülmeyi önleyemez. Büyük boyutlu titanyum alüminyum döküm borular ve külçeler, döner boruyu hedef haline getirirken sızdırmazlık ve su geçirmezlik etkisini garanti edemez., ve tüp duvarı kazındığında, duvar kalınlığı değişir İnce, bağlı bir delik olduğu sürece gevşek ve büzülme delikleri, sızdırmazlık daha da kötüleşecek, daha hafif olanlar sızacak, hedef tüp boşalmaya başlayacak, veya büyük miktarda safsızlık reaksiyona katılacak ve filmin düşmesine veya rengin yanlış olmasına neden olacaktır.. Ağır vakalarda, su doğrudan büzülme boşluğundan vakum odasına enjekte edilir, gerçek boşluğu ve vakum ünitesini kirletecek olan.

Toz metalurjisi proses üretimititanyum alüminyum hedefGözeneklilik ve büzülme sorunu yoktur, ama toz metalurjisinin mikroskobik bakış açısından, aynı zamanda gözenekli bir malzemedir, yani yapmak istersenTitanyum alüminyum dönen boru hedefi, Malzeme kompaktlığı gereksinimleri çok katıdır, yoğunluk daha büyük olmalıdır 98%, ancak yoğunluk gereksinimlerinin karşılanması, kullanılabileceği anlamına gelmez. Titanyum alüminyum külçenin oksijen içeriği yüksekse ve mikro yapı makul değilse, titanyum alüminyum külçenin iç gerilimi büyüktür, ve yıkılması kolaydır, ve dönen bir tüp hedefi olarak kullanılamaz. Öyleyse, toz üretimi ve tane boyutu oranı için birçok gereksinim vardır. Bu koşullar sağlansa bile, toz metalurjisi titanyum alüminyum halkanın paslanmaz çelik boruya veya titanyum boruya bağlanması gerekir. Titanyum alüminyumun büyük termal genleşme katsayısı nedeniyle, yerel hedef genişlemesi, püskürtme sırasında sıfıra ulaşabilir.5～1m, bu nedenle, geleneksel külçe bağlama yöntemi bu sorunu etkili bir şekilde çözemez. Titanyum ve alüminyum bağlayıcı külçelerin ayrılması gerçekleşir, ve hedef yüzeyin termal enerjisi iletilemez ve patlar. Ancak, sıkı eşleşen bağ güvenilmez, ve plazma püskürtmeli titanyum alüminyum alaşımlı hedefin kalitesi zayıf..

Saatte dekoratif kaplama gül altın, takı, ve gözlük endüstrileri. Son günlerde, birçok gereksinim karbon içermez ve ayrıca alttaki gül rengini yüze yakın gül altın yapar..Bize göre, TiCN artık gereksinimleri karşılayamıyor. TiAlN en mükemmel çözümdür. Düşük kaliteli saat takılarının film kalınlığı ve parlaklık gereksinimleri yoktur. Çoğu, TiAlN biriktirmek için ark titanyum alüminyum hedefleri kullanır. Üst düzey marka saatler, 1 um'den fazla kalınlık ve parlaklık gerektirir. Düşemez. Ark damlacıklardan etkilenir ve düzgün ve kalın filmde hiçbir avantajı yoktur.O'KellyMevcut tedarik siparişinin geri bildiriminden, TiAIN'i dönen bir boru hedefi ile yatırmanın daha iyi bir yol olduğu görülebilir., sadece renk gül altına daha yakın değil, ancak kalınlık arttırıldıktan sonra parlaklık etkilenmeyecektir..