การผลิตและการใช้งานเป้าหมายการสปัตเตอร์อลูมิเนียมไทเทเนียมเคลือบ PVD

ตามเนื้อผ้าวิธีการหล่อและวิธีการผงโลหะในการผลิตเป้าหมายโลหะผสมอลูมิเนียมไทเทเนียม.

วิธีการหล่อของเป้าหมายโลหะผสมไทเทเนียมอลูมิเนียมไม่สามารถหลีกเลี่ยงความพรุนและการหดตัว. ท่อและแท่งหล่ออลูมิเนียมไทเทเนียมขนาดใหญ่ไม่สามารถรับประกันการปิดผนึกและกันน้ำได้เมื่อสร้างเป้าหมายท่อหมุน, และในขณะที่ผนังท่อถูกสลักไว้, ความหนาของผนังเปลี่ยนแปลง Thin, รูหลวมและหดตัวตราบเท่าที่มีรูเชื่อมต่ออยู่, การผนึกจะยิ่งแย่ลง, ไฟแช็กจะรั่ว, ท่อเป้าหมายจะเริ่มระบายออก, หรือสิ่งเจือปนจำนวนมากจะมีส่วนร่วมในปฏิกิริยาและทำให้ฟิล์มตกหรือสีผิด..ในกรณีที่รุนแรง, น้ำถูกฉีดโดยตรงจากช่องหดตัวไปยังห้องสุญญากาศ, ซึ่งจะทำให้เกิดการปนเปื้อนในโพรงจริงและหน่วยสุญญากาศ.

กระบวนการผลิตผงโลหะวิทยาเป้าหมายอลูมิเนียมไทเทเนียมไม่มีปัญหาความพรุนและการหดตัว, แต่จากมุมมองของจุลทรรศน์ของผงโลหะวิทยา, นอกจากนี้ยังเป็นวัสดุที่มีรูพรุน, ดังนั้นถ้าคุณต้องการที่จะทำเป้าหมายท่อหมุนอลูมิเนียมไทเทเนียม, ข้อกำหนดสำหรับความกะทัดรัดของวัสดุนั้นเข้มงวดมาก, ความหนาแน่นต้องมากกว่า 98%, แต่การตรงตามข้อกำหนดด้านความหนาแน่นไม่ได้หมายความว่าสามารถใช้ได้ หากปริมาณออกซิเจนของแท่งอลูมิเนียมไทเทเนียมสูงและโครงสร้างจุลภาคไม่สมเหตุสมผล, ความเค้นภายในของแท่งอลูมิเนียมไทเทเนียมมีขนาดใหญ่, และพังง่าย, และไม่สามารถใช้เป็นเป้าหลอดหมุนได้. ดังนั้น, มีข้อกำหนดมากมายสำหรับการผลิตผงและอัตราส่วนขนาดอนุภาค..แม้ว่าจะเป็นไปตามเงื่อนไขเหล่านี้ก็ตาม, แหวนอลูมิเนียมไทเทเนียมผงโลหะจะต้องผูกติดกับท่อสแตนเลสหรือท่อไทเทเนียม. เนื่องจากมีค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนสูงของอะลูมิเนียมไทเทเนียม, การขยายเป้าหมายในพื้นที่อาจถึงศูนย์ในระหว่างการสปัตเตอร์..5 ~ 1m, ดังนั้นวิธีการผูกเหล็กแบบดั้งเดิมจึงไม่สามารถแก้ปัญหานี้ได้อย่างมีประสิทธิภาพ. เกิดการแยกตัวของแท่งเชื่อมไททาเนียมและอะลูมิเนียมออก, และพลังงานความร้อนของพื้นผิวเป้าหมายไม่สามารถดำเนินการและระเบิดได้..อย่างไรก็ตาม, ความผูกพันแน่นแฟ้นไม่น่าเชื่อถือ, และเป้าหมายของโลหะผสมอลูมิเนียมไททาเนียมที่พ่นด้วยพลาสม่านั้นมีคุณภาพต่ำ.

การเคลือบตกแต่งสีโรสโกลด์ในนาฬิกา, เครื่องประดับ, และอุตสาหกรรมแว่นตา. ล่าสุด, ความต้องการหลายอย่างไม่มีคาร์บอนและทำให้สีกุหลาบที่อยู่ข้างใต้ใกล้เคียงกับใบหน้าสีโรสโกลด์..ในความคิดของเรา, TiCN ไม่เป็นไปตามข้อกำหนดอีกต่อไป. TiAlN เป็นโซลูชั่นที่สมบูรณ์แบบที่สุด. เครื่องประดับนาฬิการาคาต่ำไม่มีข้อกำหนดเรื่องความหนาและความเงาของฟิล์ม. ส่วนใหญ่ใช้เป้าหมายอลูมิเนียมอาร์คไททาเนียมเพื่อฝาก TiAlN. นาฬิกาแบรนด์ระดับไฮเอนด์ต้องการความหนามากกว่า 1um และเงา. ดรอปไม่ได้ อาร์คได้รับผลกระทบจากหยดและไม่มีข้อได้เปรียบในฟิล์มที่เรียบและหนาจากโอเคลลี่จะเห็นได้จากผลป้อนกลับของใบสั่งจ่ายปัจจุบันว่าวิธีที่ดีกว่าคือการฝาก TiAIN ด้วยเป้าหมายท่อหมุน, ไม่ใช่แค่สีที่ใกล้เคียงกับสีโรสโกลด์เท่านั้น, แต่ความเงาจะไม่ได้รับผลกระทบหลังจากเพิ่มความหนา.