Welcome to our website
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Industrial news

» News » Industrial news

อธิบายความรู้ของการสปัตเตอร์เป้าหมายความถี่กลางแมกนีตรอนสปัตเตอร์

2021年10月10日

แมกนีตรอนสปัตเตอร์มีหลายประเภท แต่ละประเภทมีหลักการทำงานและวัตถุการใช้งานที่แตกต่างกัน แต่มีสิ่งหนึ่งที่เหมือนกัน: ปฏิสัมพันธ์ระหว่างสนามแม่เหล็กและอิเล็กตรอนทำให้อิเล็กตรอนหมุนวนรอบพื้นผิวเป้าหมาย, จึงเพิ่มความน่าจะเป็นของอิเล็กตรอนที่พุ่งชนแก๊สอาร์กอนเพื่อผลิตไอออน..ไอออนที่สร้างขึ้นชนกับพื้นผิวเป้าหมายภายใต้การกระทำของสนามไฟฟ้าเพื่อพ่นเป้าหมายสปัตเตอร์.ในทศวรรษที่ผ่านมาของการพัฒนา, ทุกคนค่อยๆ นำแม่เหล็กถาวรมาใช้, และแม่เหล็กคอยล์ที่ไม่ค่อยได้ใช้.

หลักการของการสปัตเตอร์ความถี่กลางเหมือนกับหลักการสปัตเตอร์กระแสตรงทั่วไป. ความแตกต่างคือ DC สปัตเตอร์ใช้กระบอกเป็นขั้วบวก, ในขณะที่จับคู่สปัตเตอร์ความถี่กลาง. ไม่ว่าบาร์เรลจะเข้าร่วมหรือไม่นั้นจะต้องพิจารณาจากการออกแบบโดยรวม, และทั้งระบบ ระหว่างกระบวนการสปัตเตอร์, การจัดเรียงของแอโนดและแคโทดมีความสัมพันธ์กัน. มีหลายวิธีในการเข้าร่วมในรอบอัตราส่วน. วิธีการต่างๆ สามารถรับผลตอบแทนจากการสปัตเตอร์และความหนาแน่นของไอออนที่แตกต่างกันได้.

เทคโนโลยีหลักของการสปัตเตอร์ความถี่กลางอยู่ในการออกแบบและการใช้แหล่งจ่ายไฟ. ในปัจจุบัน, วิธีการส่งออกที่เป็นผู้ใหญ่มากขึ้นคือคลื่นไซน์และคลื่นสี่เหลี่ยมพัลส์. แต่ละคนก็มีข้อดีข้อเสียต่างกันไป. อันดับแรก, พิจารณาประเภทของชั้นฟิล์มและวิเคราะห์ว่ากำลังส่งกำลังแบบใดเหมาะสม. ชั้นฟิล์ม, คุณสามารถใช้คุณสมบัติของแหล่งจ่ายไฟเพื่อให้ได้เอฟเฟกต์ฟิล์มที่ต้องการ.

เป้าหมายใช้สำหรับเป้าหมายความถี่กลาง, และเป้าสปัตเตอร์บางอันใช้สามคู่ เป้ามีขนาดค่อนข้างใหญ่. เท่าที่เกี่ยวข้องกับความถี่กลาง, ชิ้นงานส่วนใหญ่ชุบด้วยโลหะบางส่วน..เตาสุญญากาศดังกล่าวโดยทั่วไปจะมีขนาดค่อนข้างใหญ่, ซึ่งสามารถวางชิ้นส่วนงานได้มากมาย, และฟิล์มเคลือบมีความหนาแน่นมากขึ้น.

Maybe you like also

  • Categories

  • Recent News & Blog

  • Share to friend

  • COMPANY

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantalum Niobium Metal Material Co., จำกัด. is a Chinese enterprise specializing in the processing of non-ferrous metals, serving global customers with high quality products and perfect after-sales service.

  • ติดต่อเรา

    มือถือ:86-400-660-1855
    E-mail:[email protected] aliyun.com
    เว็บ:www.chn-ti.com