ยินดีต้อนรับสู่เว็บไซต์ของเรา
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

ข่าว

» ข่าว

การวิเคราะห์ปัญหาพิษและการทำให้ดำคล้ำของเป้าหมายครึ่งหนึ่งหลังจากการสปัตเตอร์

2021年8月31日

 

คำถาม: เทคโนโลยีแมกนีตรอนสปัตเตอริงปฏิกิริยาฝากฟิล์มเซอร์โคเนียมไนไตรด์, เป้าหมายคือสองนิ้ว, แก๊สสปัตเตอร์เป็นอาร์กอน, ก๊าซปฏิกิริยาคือ N2, กำลังไฟ 300W, แหล่งจ่ายไฟความถี่วิทยุ, การทับถมคือสองชั่วโมง, และเป้าหมายจะถูกลบออกหลังจากเสร็จสิ้น. ดูปรากฏการณ์ที่อธิบายไว้ในชื่อเรื่อง, ไม่ว่าจะเป็นเป้าหมายพิษหรือสาเหตุอื่นๆ, แต่ทำไมถึงปรากฏแค่ครึ่งเดียว?

การวิเคราะห์เหตุผล 1: อาจเกี่ยวข้องกับการนำพลังงานความถี่วิทยุมาใช้

การวิเคราะห์เหตุผล 2: เป้าหมายเล็กๆ แบบนี้, สองนิ้ว?เป็นชุดระบายความร้อน?

การวิเคราะห์เหตุผล 3: 300พลัง W ถูกเพิ่มไปยังเป้าหมายขนาดเล็กเช่นนี้, ความเย็นจะคงอยู่ได้ไหม สงสัยการระบายความร้อนไม่ดี, ทำให้เกิดความดำครึ่งหนึ่ง!

การวิเคราะห์เหตุผล 4: ระบายความร้อนไม่เพียงพอ อุณหภูมิสูงเกินไป?

การวิเคราะห์เหตุผล 5: มันอาจจะเกี่ยวข้องกับกำลังสูง. ฉันเพียงกล้าที่จะเพิ่มพลังของเป้าหมายด้วยเส้นผ่านศูนย์กลางของ 60 ประมาณ 100W.

การวิเคราะห์สาเหตุ 6: แหล่งจ่ายไฟมีเสถียรภาพในสองชั่วโมงหรือไม่ อาจเป็นเพราะพลังงานสูงเกินไป, หรืออาจเป็นเพราะด้านข้างของชิ้นงานสัมผัสกับชิ้นส่วนที่ต่อลงดิน

การวิเคราะห์เหตุผล 7: สงสัยจะมีปัญหาเรื่องความหนาแน่นของอากาศ, ส่วนตัวคิดว่า

สารละลาย 1: คำแนะนำ 1) ตรวจสอบความสม่ำเสมอของแก๊ส; 2) ไม่ว่าจะมีการรั่วไหลของอากาศด้านใดด้านหนึ่ง?

สารละลาย 2: ขอแนะนำให้ทำการวิเคราะห์ XPS, หรือทำการทดลองอีกครั้ง.

สรุป: จากการวิเคราะห์ข้างต้น, สาเหตุหลักที่ทำให้เป้าหมายเป็นพิษและดำคืออุณหภูมิสูงเกินไป, แหล่งจ่ายไฟไม่เสถียร, ความสม่ำเสมอของก๊าซและความแน่นของอากาศ ตรวจสอบสาเหตุหลักที่เป็นไปได้เหล่านี้, และแก้ปัญหาทีละขั้นตอน.

บางทีคุณอาจชอบด้วย

  • หมวดหมู่

  • ข่าวล่าสุด & บล็อก

  • แบ่งปันให้เพื่อน

  • บริษัท

    มณฑลส่านซี Zhongbei Titanium Tantalum Niobium Metal Material Co., จำกัด. เป็นองค์กรจีนที่เชี่ยวชาญด้านการแปรรูปโลหะที่ไม่ใช่เหล็ก, ให้บริการลูกค้าทั่วโลกด้วยผลิตภัณฑ์คุณภาพสูงและบริการหลังการขายที่สมบูรณ์แบบ.

  • ติดต่อเรา

    มือถือ:86-400-660-1855
    อีเมล:[email protected] aliyun.com
    เว็บ:www.chn-ti.com