Karibu kwenye tovuti yetu
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Habari za viwanda

» Habari » Habari za viwanda

Kanuni ya sputtering lengo magnetron sputtering

2021年8月31日

 

Kanuni ya sputtering ya Magnetron: ongeza uwanja wa sumaku wa orthogonal na uwanja wa umeme kati ya shabaha iliyopigwa (katoni) na anode, na lengo la sputtering linajazwa na gesi ya inert inayohitajika (kawaida Ar gesi) katika chumba cha juu cha utupu. Sumaku ya kudumu huunda a 250-350 Sehemu ya sumaku ya Gauss juu ya uso wa nyenzo lengwa, na huunda uwanja wa umeme wa orthogonal na uwanja wa umeme wa hali ya juu..

Chini ya hatua ya uwanja wa umeme, Gesi ar inachukua ioni chanya na elektroni. Voltage fulani hasi ya juu hutumiwa kwa lengo. Elektroni zinazotolewa kutoka kwa lengo zinaathiriwa na uwanja wa sumaku na uwezekano wa ionization wa gesi inayofanya kazi huongezeka, kutengeneza plasma ya wiani mkubwa karibu na cathode. Chini ya hatua ya nguvu ya Lorentz, Arion huharakisha kwenye uso wa lengo na hupiga uso wa lengo kwa kasi kubwa, ili atomu zilizopigwa nje ya shabaha zifuate kanuni ya uongofu wa kasi na kuruka mbali na uso unaolengwa na nguvu kubwa ya kinetic. Substrate utuaji katika filamu. Sputtering ya Magnetron kwa ujumla imegawanywa katika aina mbili: Sputtering ya DC na sputtering ya masafa ya redio. Kanuni ya vifaa vya sputtering ya DC ni rahisi. Wakati wa kusukuma chuma, kiwango chake pia ni haraka..

Aina ya matumizi ya sputtering ya masafa ya redio ni pana zaidi. Mbali na sputtering vifaa conductive, vifaa visivyo vya conductive pia vinaweza kupigwa. Wakati huo huo, inaweza pia kufanya sputtering tendaji kuandaa vifaa vya kiwanja kama oksidi, nitridi, na kabureti..Wakati masafa ya mzunguko wa lengo la sputtering yanaongezeka, inakuwa microwave plasma sputtering. Wakati huu, elektroniki cyclotron resonance (ECR) aina ya microwave plasma sputtering hutumiwa kawaida..

Labda unapenda pia

  • Kategoria

  • Habari za Hivi Punde & Blogu

  • Shiriki kwa rafiki

  • KAMPUNI

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantalum Niobium Metal Material Co., Ltd.. ni kampuni ya Kichina inayobobea katika usindikaji wa metali zisizo na feri, kuwahudumia wateja wa kimataifa kwa bidhaa za ubora wa juu na huduma bora baada ya mauzo.

  • Wasiliana nasi

    Rununu:86-400-660-1855
    Barua pepe:[email protected] aliyun.com
    Wavuti:www.chn-ti.com