Karibu kwenye tovuti yetu
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Habari za viwanda

» Habari » Habari za viwanda

Kanuni ya lengo la sputtering ya magnetron

2021年8月31日

 

Kanuni ya sputtering ya magnetron sputtering:

Shamba la sumaku la orthogonal na uwanja wa umeme huongezwa kati ya shabaha iliyopigwa (katoni) na anode, na gesi ya ajizi inayohitajika (kawaida Ar gesi) imejazwa kwenye chumba cha juu cha utupu. Fomu za sumaku za kudumu 250-350 juu ya uso wa nyenzo lengwa. Sehemu ya sumaku ya Gaussian, na uwanja wa umeme wa hali ya juu huunda uwanja wa umeme wa orthogonal.

Chini ya hatua ya uwanja wa umeme, Gesi ar inachukua ioni chanya na elektroni. Voltage fulani hasi ya juu hutumiwa kwa lengo. Elektroni zinazotolewa kutoka kwa lengo zinaathiriwa na uwanja wa sumaku na uwezekano wa ionization wa gesi inayofanya kazi huongezeka, kutengeneza plasma ya wiani mkubwa karibu na cathode. Chini ya hatua ya nguvu ya Lorentz, Arion huharakisha kwenye uso wa lengo na hupiga uso wa lengo kwa kasi kubwa, ili atomu zilizopigwa nje ya shabaha zifuate kanuni ya uongofu wa kasi na kuruka mbali na uso unaolengwa na nguvu kubwa ya kinetic. Substrate utuaji katika filamu.

Sputtering ya Magnetron kwa ujumla imegawanywa katika aina mbili: sputtering ya mto na sputtering ya mzunguko wa redio. Kanuni ya vifaa vya upeanaji wa kijito ni rahisi, na kiwango chake pia ni haraka wakati wa kusugua chuma .. Aina ya matumizi ya sputtering ya masafa ya redio ni pana zaidi. Mbali na sputtering vifaa conductive, vifaa visivyo vya conductive pia vinaweza kupigwa. Wakati huo huo, inaweza pia kufanya sputtering tendaji kuandaa vifaa vya kiwanja kama oksidi, nitridi, na carbides..Ikiwa mzunguko wa masafa ya redio umeongezeka, inakuwa microwave plasma sputtering. Wakati huu, elektroniki cyclotron resonance (ECR) aina ya microwave plasma sputtering hutumiwa kawaida..

Labda unapenda pia

  • Kategoria

  • Habari za Hivi Punde & Blogu

  • Shiriki kwa rafiki

  • KAMPUNI

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantalum Niobium Metal Material Co., Ltd.. ni kampuni ya Kichina inayobobea katika usindikaji wa metali zisizo na feri, kuwahudumia wateja wa kimataifa kwa bidhaa za ubora wa juu na huduma bora baada ya mauzo.

  • Wasiliana nasi

    Rununu:86-400-660-1855
    Barua pepe:[email protected] aliyun.com
    Wavuti:www.chn-ti.com