Välkommen till vår hemsida
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Industriella nyheter

» Nyheter » Industriella nyheter

Princip för magnetronförstoftande förstoftningsmål

2021年8月31日

 

Princip för förstoftning av målmagnetronförstoftning:

Ett ortogonalt magnetfält och ett elektriskt fält läggs till mellan det sputtrade målet (katod) och anoden, och erforderlig inert gas (vanligtvis Ar gas) fylls i högvakuumkammaren. Den permanenta magneten bildas 250-350 på målmaterialets yta. Det gaussiska magnetfältet, och det högspännade elektriska fältet bildar ett ortogonalt elektromagnetiskt fält.

Under verkan av det elektriska fältet, Ar gas joniseras till positiva joner och elektroner. En viss negativ högspänning appliceras på målet. Elektronerna som avges från målet påverkas av magnetfältet och joniseringssannolikheten för arbetsgasen ökar, bildar en högdensitetsplasma nära katoden. Under inverkan av Lorentz kraft, Arjoner accelererar till målytan och bombarderar målytan med hög hastighet, så att atomerna som sprutits ut ur målet följer principen för momentomvandling och flyger bort från målytan med högre rörelseenergi. Substratavsättning i film.

Magnetronförstoftning är vanligtvis uppdelad i två typer: biflodssputtring och radiofrekvensförstoftning. Principen för biflödsutstötningsutrustning är enkel, och dess hastighet är också snabb vid förstoftning av metaller ... Tillämpningsområdet för radiofrekvensförstoftning är mer omfattande. Förutom att förstöra ledande material, oledande material kan också sputtras. På samma gång, den kan också utföra reaktiv förstoftning för att framställa sammansatta material såsom oxider, nitrider, och karbider..Om frekvensen för radiofrekvensen ökas, det blir mikroplasmaförstoftning. För närvarande, elektroncyklotronresonans (ECR) typ mikrovågsplasmasputtring används vanligen..

Kanske gillar du också

  • Kategorier

  • Senaste nyheter & Blogg

  • Dela till en vän

  • FÖRETAG

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantal Niobium Metal Material Co., Ltd. är ett kinesiskt företag som specialiserat sig på bearbetning av icke-järnmetaller, betjänar globala kunder med högkvalitativa produkter och perfekt kundservice.

  • Kontakta oss

    Mobil:86-400-660-1855
    E-post:[email protected] aliyun.com
    webb:www.chn-ti.com