Tillverkning och applicering av PVD-belagda titanaluminium Sputtering mål

Traditionellt använt gjutningsmetod och pulvermetallurgimetod för att producera titan aluminiumlegering mål.

Gjutmetoden för titanaluminiumlegeringsmål kan inte undvika porositet och krympning. Störda rör och göt i titanaluminium kan inte garantera den tätande och vattentäta effekten när du gör det roterande rörmålet, och när rörväggen etsas, väggtjockleken ändras tunn, lösa och krympande hål så länge det finns ett hål anslutet, tätningen blir värre, de lättare kommer att läcka, målröret börjar rinna ut, eller en stor mängd orenhet kommer att delta i reaktionen och få filmen att falla eller färgen är fel..I allvarliga fall, vatten injiceras direkt från krympkaviteten till vakuumkammaren, som kommer att förorena den verkliga kaviteten och vakuumenheten.

PulvermetallurgiprocessproduktionTitan aluminium målDet finns inga problem med porositet och krympning, men ur mikroskopisk synvinkel av pulvermetallurgi, det är också ett poröst material, så om du vill göraTitan aluminium roterande rör mål, Kraven på materialkompaktitet är mycket strikta, tätheten måste vara större än 98%, men att uppfylla kraven på densitet betyder inte att den kan användas. om syrehalten i titanaluminiumgötet är hög och mikrostrukturen orimlig, den inre spänningen i gänget av titanaluminium är stor, och det är lätt att kollapsa, och det kan inte användas som ett roterande rörmål. Därför, det finns många krav för pulverproduktion och partikelstorleksförhållande..Även om dessa villkor är uppfyllda, pulvermetallurgititanaluminiumringen måste bindas till röret i rostfritt stål eller titanröret. På grund av den stora termiska expansionskoefficienten för titanaluminium, den lokala målutvidgningen kan nå noll under förstoftning..5 ～ 1m, så den traditionella metoden för att binda göt kan inte effektivt lösa detta problem. Separationen av titan- och aluminiumbindningsgöt sker, och målytans termiska energi kan inte ledas och spricker..Dock, den tätt matchande bindningen är opålitlig, och kvaliteten på plasmasprutat titanaluminiumlegeringsmål är dålig..

Dekorativ beläggning roséguld i klockan, Smycken, och glasögonindustrin. Nyligen, många krav innehåller inte kol och gör ytterligare den underliggande rosfärgen nära ansiktet roséguld..In vår mening, TiCN kan inte längre uppfylla kraven. TiAlN är den mest perfekta lösningen. Lågklocka smycken har inga krav på filmtjocklek och glans. De flesta av dem använder bågtitanaluminiummål för att deponera TiAlN. High-end klockor kräver en tjocklek på mer än 1um och glans. Kan inte släppa. Bågen påverkas av droppar och har ingen fördel med slät och tjock film. FrånO’KellyDet framgår av återkopplingen från den aktuella leveransordern att ett bättre sätt är att sätta in TiAIN med ett roterande rörmål, inte bara färgen är närmare rosguld, men glansen påverkas inte efter att tjockleken har ökat..