Välkommen till vår hemsida
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Industriella nyheter

» Nyheter » Industriella nyheter

Hur man förbereder sputtering mål

2021年10月19日

Sputtering mål hänvisar till en förstoftningskälla som sprutas och deponeras på ett substrat genom magnetronförstoftning, multi-arc jonplätering eller andra typer av beläggningsutrustning under lämpliga processförhållanden för att bilda olika funktionella tunna filmer., verktyg, glas, elektroniska enheter, halvledare, magnetisk inspelning, platt display, solceller, etc. Målmaterialen som krävs inom olika områden är olika.

Förberedelse av förstoftande mål

Beredningen av förstoftande målmaterial kan delas in i två kategorier: smält gjutning och pulvermetallurgi enligt processen. Förutom att strikt kontrollera renheten, densitet, kornstorlek och kristallorientering av materialet, värmebehandlingsförhållandena och efterföljande bearbetningsmetoder måste också kontrolleras strikt. kontrollera.

1. Pulvermetallurgi
Vid förberedelse av mål genom pulvermetallurgi, nyckeln ligger i: (1) välja högrenhet och ultrafint pulver som råmaterial; (2) välja en formnings- och sintringsteknik som kan uppnå snabb förtätning för att säkerställa låg porositet hos målet och kontrollera kornstorlek; (3) Beredningsprocessen kontrollerar strikt införandet av orenhetselement.

2. Smältgjutningsmetod
Smältgjutningsmetod är en av de grundläggande metoderna för att göra stänkande mål. För att säkerställa att innehållet av föroreningselement i götet är så lågt som möjligt, dess smältning och gjutning utförs vanligtvis under vakuum eller skyddande atmosfär. dock, under gjutningsprocessen, det är oundvikligt att det finns en viss porositet inuti materialstrukturen. Dessa porer kommer att få partiklarna att stänka under förstoftningsprocessen, därigenom påverkar kvaliteten på den sputtrade filmen..Av denna anledning, uppföljning av termisk bearbetning och värmebehandlingsprocesser krävs för att minska dess porositet.

Kanske gillar du också

  • Kategorier

  • Senaste nyheter & Blogg

  • Dela till en vän

  • FÖRETAG

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantal Niobium Metal Material Co., Ltd. är ett kinesiskt företag som specialiserat sig på bearbetning av icke-järnmetaller, betjänar globala kunder med högkvalitativa produkter och perfekt kundservice.

  • Kontakta oss

    Mobil:86-400-660-1855
    E-post:[email protected] aliyun.com
    webb:www.chn-ti.com