Добродошли на нашу веб страницу
Добродошли на нашу веб страницу0086-18429179711 Добродошли на нашу веб страницу[email protected] алииун.цом

Добродошли на нашу веб страницу

Добродошли на нашу веб страницу Добродошли на нашу веб страницу Добродошли на нашу веб страницу Добродошли на нашу веб страницу

Принцип прскања циљаног магнетронског распршивања

2021年8月31日

 

Принцип распршивања магнетроном: додајте ортогонално магнетно поље и електрично поље између распршене мете (катода) и анода, а мета за распршивање напуњена је потребним инертним гасом (обично Ар гас) у комори са високим вакуумом. Трајни магнет формира а 250-350 Гауссово магнетно поље на површини циљног материјала, и формира ортогонално електромагнетно поље са електричним пољем високог напона..

Под дејством електричног поља, Ар гас јонизује у позитивне јоне и електроне. На мету се примењује одређени негативни високи напон. На електроне емитоване са мете утиче магнетно поље и повећава се вероватноћа јонизације радног гаса, формирајући плазму велике густине у близини катоде. Под дејством Лорентзове силе, Ар јони убрзавају до површине мете и великом брзином бомбардују површину мете, тако да атоми избачени из мете следе принцип претварања импулса и одлећу са површине мете са већом кинетичком енергијом. Таложење подлоге у филм. Магнетронско распршивање се генерално дели на два типа: Распршивање једносмерном струјом и распршивање радио фреквенција. Принцип опреме за прскање једносмерном струјом је једноставан. Приликом прскања метала, његова стопа је такође брза..

Опсег примене распршивања радио -фреквенција је опсежнији. Поред прскања проводних материјала, непроводни материјали се такође могу прскати. Истовремено, такође може спровести реактивно распршивање за припрему сложених материјала као што су оксиди, нитриди, и карбиди..Кад се повећа фреквенција радиофреквенције мете за прскање, постаје микроталасно плазма распршивање. Сада, електронска циклотронска резонанца (ЕЦР) обично се користи микроталасно плазма распршивање..

у погледу производних капацитета

Добродошли на нашу веб страницу Magnetronske mete za raspršivanje
  • у погледу производних капацитета

  • у погледу производних капацитета & у погледу производних капацитета

  • у погледу производних капацитета

  • у погледу производних капацитета

    у погледу производних капацитета, Лтд. у погледу производних капацитета, у погледу производних капацитета.

  • Контактирајте нас

    Мобилни:86-400-660-1855
    у погледу производних капацитета:[email protected] алииун.цом
    Веб:ввв.цхн-ти.цом