Добродошли на нашу веб страницу
Добродошли на нашу веб страницу0086-18429179711 Добродошли на нашу веб страницу[email protected] алииун.цом

Добродошли на нашу веб страницу

Добродошли на нашу веб страницу Добродошли на нашу веб страницу Добродошли на нашу веб страницу Добродошли на нашу веб страницу

Принцип магнетронског распршивања

2021年8月31日

 

Принцип распршивања циљаног магнетронског распршивања:

Између распршене мете додају се ортогонално магнетско поље и електрично поље (катода) и анода, и потребан инертни гас (обично Ар гас) се пуни у комори високог вакуума. Формира се стални магнет 250-350 на површини циљног материјала. Гаусово магнетно поље, а високонапонско електрично поље формира ортогонално електромагнетно поље.

Под дејством електричног поља, Ар гас јонизује у позитивне јоне и електроне. На мету се примењује одређени негативни високи напон. На електроне емитоване са мете утиче магнетно поље и повећава се вероватноћа јонизације радног гаса, формирајући плазму велике густине у близини катоде. Под дејством Лорентзове силе, Ар јони убрзавају до површине мете и великом брзином бомбардују површину мете, тако да атоми избачени из мете следе принцип претварања импулса и одлећу са површине мете са већом кинетичком енергијом. Таложење подлоге у филм.

Магнетронско распршивање се генерално дели на два типа: прскање прскања и радиофреквентно прскање. Принцип опреме за прскање притока је једноставан, а његова брзина је такође брза при распршивању метала..Домет примене радиофреквентног распршивања је опсежнији. Поред прскања проводних материјала, непроводни материјали се такође могу прскати. Истовремено, такође може спровести реактивно распршивање за припрему сложених материјала као што су оксиди, нитриди, и карбиди..Ако је фреквенција радио фреквенције повећана, постаје микроталасно плазма распршивање. Сада, електронска циклотронска резонанца (ЕЦР) обично се користи микроталасно плазма распршивање..

у погледу производних капацитета

Добродошли на нашу веб страницу Magnetronske mete za raspršivanje
  • у погледу производних капацитета

  • у погледу производних капацитета & у погледу производних капацитета

  • у погледу производних капацитета

  • у погледу производних капацитета

    у погледу производних капацитета, Лтд. у погледу производних капацитета, у погледу производних капацитета.

  • Контактирајте нас

    Мобилни:86-400-660-1855
    у погледу производних капацитета:[email protected] алииун.цом
    Веб:ввв.цхн-ти.цом