Mirë se vini në faqen tonë të internetit
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Lajme industriale

» Lajme » Lajme industriale

Parimi i spërkatjes së spërkatjes së magnetronit të synuar

2021年8月31日

 

Parimi i spërkatjes së magnetronit: shtoni një fushë magnetike ortogonale dhe një fushë elektrike midis objektivit të spërkatur (katodë) dhe anodën, dhe objektivi i spërkatjes është i mbushur me gazin e kërkuar inert (zakonisht gazi Ar) në dhomën e vakumit të lartë. Magneti i përhershëm formon a 250-350 Fusha magnetike e Gausit në sipërfaqen e materialit të synuar, dhe formon një fushë elektromagnetike ortogonale me fushën elektrike të tensionit të lartë..

Nën veprimin e fushës elektrike, Gazi Ar jonizohet në jone dhe elektrone pozitive. Një tension i caktuar negativ i lartë aplikohet në objektiv. Elektronet e emetuara nga objektivi ndikohen nga fusha magnetike dhe rritet probabiliteti i jonizimit të gazit të punës, duke formuar një plazmë me densitet të lartë pranë katodës. Nën veprimin e forcës Lorentz, Jonet ar shpejtohen në sipërfaqen e synuar dhe bombardojnë sipërfaqen e synuar me një shpejtësi të madhe, kështu që atomet e spërkatur jashtë objektivit ndjekin parimin e shndërrimit të vrullit dhe fluturojnë larg nga sipërfaqja e synuar me energji më të lartë kinetike. Depozitimi i substratit në film. Spërkatja e magnetronit në përgjithësi ndahet në dy lloje: Sputing DC dhe spërkatje radio frekuencash. Parimi i pajisjeve të spërkatjes DC është i thjeshtë. Kur spërkat metal, norma e tij është gjithashtu e shpejtë..

Gama e aplikimit të spërkatjes së frekuencave të radios është më e gjerë. Përveç spërkatjes së materialeve përcjellëse, materialet jo përçuese mund të spërkaten gjithashtu. Në të njëjtën kohë, gjithashtu mund të kryejë spërkatje reaktive për të përgatitur materiale të përbëra siç janë oksidet, nitridet, dhe karabit..Kur të rritet frekuenca e radiofrekuencës së objektivit sputtering, bëhet spërkatje e plazmës me mikrovalë. Për momentin, rezonancë ciklotroni elektronik (ECR) zakonisht përdoret spërkatja e plazmës me mikrovalë..

Ndoshta ju pëlqen gjithashtu

  • Kategoritë

  • Lajmet e fundit & Blog

  • Ndajeni me shokun

  • KOMPANIA

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantal Niobium Metal Material Co., Ltd. është një ndërmarrje kineze e specializuar në përpunimin e metaleve me ngjyra, duke iu shërbyer klientëve globalë me produkte të cilësisë së lartë dhe shërbim të përsosur pas shitjes.

  • Na kontaktoni

    Celular:86-400-660-1855
    E-mail:[email protected] aliyun.com
    Web:www.chn-ti.com