Mirë se vini në faqen tonë të internetit
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Lajme industriale

» Lajme » Lajme industriale

Parimi i objektivit të spërkatjes së magnetronit

2021年8月31日

 

Parimi i spërkatjes së spërkatjes së magnetronit të synuar:

Midis objektivit të spërkatur shtohet një fushë magnetike ortogonale dhe një fushë elektrike (katodë) dhe anodën, dhe gazin inert të kërkuar (zakonisht gazi Ar) mbushet në dhomën me vakum të lartë. Formohet magneti i përhershëm 250-350 në sipërfaqen e materialit të synuar. Fusha magnetike Gaussiane, dhe fusha elektrike e tensionit të lartë formojnë një fushë elektromagnetike ortogonale.

Nën veprimin e fushës elektrike, Gazi Ar jonizohet në jone dhe elektrone pozitive. Një tension i caktuar negativ i lartë aplikohet në objektiv. Elektronet e emetuara nga objektivi ndikohen nga fusha magnetike dhe rritet probabiliteti i jonizimit të gazit të punës, duke formuar një plazmë me densitet të lartë pranë katodës. Nën veprimin e forcës Lorentz, Jonet ar shpejtohen në sipërfaqen e synuar dhe bombardojnë sipërfaqen e synuar me një shpejtësi të madhe, kështu që atomet e spërkatur jashtë objektivit ndjekin parimin e shndërrimit të vrullit dhe fluturojnë larg nga sipërfaqja e synuar me energji më të lartë kinetike. Depozitimi i substratit në film.

Spërkatja e magnetronit në përgjithësi ndahet në dy lloje: sputing degëzues dhe spërkatje radio frekuencash. Parimi i pajisjeve të spërkatjes së degëve është i thjeshtë, dhe shkalla e tij është gjithashtu e shpejtë kur spërkat metalet..Gama e aplikimit të spërkatjes së radio frekuencave është më e gjerë. Përveç spërkatjes së materialeve përcjellëse, materialet jo përçuese mund të spërkaten gjithashtu. Në të njëjtën kohë, gjithashtu mund të kryejë spërkatje reaktive për të përgatitur materiale të përbëra siç janë oksidet, nitridet, dhe karabit..Nëse frekuenca e radio frekuencës është rritur, bëhet spërkatje e plazmës me mikrovalë. Për momentin, rezonancë ciklotroni elektronik (ECR) zakonisht përdoret spërkatja e plazmës me mikrovalë..

Ndoshta ju pëlqen gjithashtu

  • Kategoritë

  • Lajmet e fundit & Blog

  • Ndajeni me shokun

  • KOMPANIA

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantal Niobium Metal Material Co., Ltd. është një ndërmarrje kineze e specializuar në përpunimin e metaleve me ngjyra, duke iu shërbyer klientëve globalë me produkte të cilësisë së lartë dhe shërbim të përsosur pas shitjes.

  • Na kontaktoni

    Celular:86-400-660-1855
    E-mail:[email protected] aliyun.com
    Web:www.chn-ti.com