Dobrodošli na naši spletni strani
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Industrijske novice

» novice » Industrijske novice

Načelo razprševanja ciljnega magnetronskega razprševanja

2021年8月31日

 

Načelo razprševanja magnetrona: med razpršeno tarčo dodajte ortogonalno magnetno polje in električno polje (katoda) in anodo, in cilj razprševanja je napolnjen z zahtevanim inertnim plinom (običajno plin Ar) v komori z visokim vakuumom. Trajni magnet tvori a 250-350 Gaussovo magnetno polje na površini ciljnega materiala, in tvori pravokotno elektromagnetno polje z visokonapetostnim električnim poljem..

Pod delovanjem električnega polja, Ar plin ionizira v pozitivne ione in elektrone. Na tarčo pride določena negativna visoka napetost. Na elektrone, ki jih oddaja tarča, vpliva magnetno polje in verjetnost ionizacije delovnega plina se poveča, tvori plazmo visoke gostote v bližini katode. Pod delovanjem Lorentzove sile, Ar ioni pospešijo do ciljne površine in z veliko hitrostjo bombardirajo ciljno površino, tako da atomi, razpršeni iz tarče, sledijo načelu pretvorbe impulza in odletijo s ciljne površine z večjo kinetično energijo. Odlaganje podlage v film. Magnetronsko razprševanje je na splošno razdeljeno na dve vrsti: Razprševanje z enosmernim tokom in radiofrekvenčno razprševanje. Načelo opreme za razprševanje z enosmernim tokom je preprosto. Pri brizganju kovine, njegova hitrost je tudi hitra..

Obseg uporabe radiofrekvenčnega razprševanja je obsežnejši. Poleg razprševanja prevodnih materialov, se lahko razpršijo tudi prevodni materiali. Ob istem času, lahko tudi izvede reaktivno razprševanje za pripravo sestavljenih materialov, kot so oksidi, nitridov, in karbidi .. Ko se poveča frekvenca radijske frekvence razpršenega cilja, postane mikrovalovno plazemsko razprševanje. Trenutno, elektronska ciklotronska resonanca (ECR) običajno se uporablja mikrovalovno plazemsko razprševanje..

Mogoče vam je tudi všeč

  • kategorije

  • Zadnje novice & Blog

  • Delite s prijateljem

  • PODJETJE

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantal Niobium Metal Material Co., Ltd. je kitajsko podjetje, specializirano za predelavo neželeznih kovin, služi globalnim strankam z visokokakovostnimi izdelki in popolno poprodajno storitvijo.

  • Kontaktiraj nas

    Mobilni:86-400-660-1855
    E-naslov:[email protected] aliyun.com
    Splet:www.chn-ti.com