Razprševanje ciljev

Seznam tehničnih parametrov stroja za večplastno optično premazovanje

model

GX-1050A

GX-800A

GX-900A

GX1200A

Velikost premazne sobe

Ф1050 × 1250, 304 nerjaveče jeklo.

Ф800 × 1000

Ф900 × 1050

Ф1200 × 1250

Notranja velikost prevleke

Nosilec za pritrditev je 1680 mm nad tlemi, primeren za ergonomsko delovno višino.

Nosilec za pritrditev je 1468 mm nad tlemi, primeren za ergonomsko delovno višino.

Nosilec za pritrditev je 1510 mm nad tlemi, primeren za ergonomsko delovno višino.

1.Obokan disk z enim obdelovancem, za srečanje s strankami’ potrebuje enakomernost v večji meri.Rotacija 5-30r/min, brezstopenjsko spreminjanje hitrosti.

2.Obokana plošča iz treh obdelovancev, planetarna revolucija in rotacija, v največji meri zadovoljiti potrebe kupcev po proizvodnih zmogljivostih.Rotacija 5-30r/min, brezstopenjsko spreminjanje hitrosti.

Namestitev

Na voljo v štirih delih, kot nosilca je nastavljiv, v večji meri zadovoljiti potrebe strank po enotnosti.Rotacija 5-30r/min, brezstopenjsko spreminjanje hitrosti.

Obokan disk z enim obdelovancem, za srečanje s strankami’ potrebuje enakomernost v večji meri.Rotacija 5-30r/min, brezstopenjsko spreminjanje hitrosti.

Vakuumski sistem

Enota: difuzijska črpalka DIP-12000 (Leybold), Koreninska črpalka ZJY-300, mehanska črpalka 2X-70, vzdrževalna črpalka 2X-8.Cevovod je 304 nerjaveče jeklo.

Enota: Difuzijska črpalka KT-400 (Zhenhua), Koreninska črpalka ZJY-150, mehanska črpalka 2X-70, vzdrževalna črpalka 2X-8.

Enota: difuzijska črpalka KT-600 (Zhenhua), Koreninska črpalka ZJY-600, mehanska črpalka 2X-70, vzdrževalna črpalka 2X-8.

Enota: Difuzijska črpalka KT-800 (Zhenhua), Koreninska črpalka ZJY-600, mehanska črpalka 2X-70, vzdrževalna črpalka 2X-8.

Vrhunski vakuum: boljši od 4 × 10-4 Pa.

Opremljen z napravo proti turbulencijam, zasnova varnostne zapore, ročno in samodejno po izbiri.

Sistem ogrevanja

Način ogrevanja na grelni cevi, PID nadzor, največ 350 ℃ ± 1,5 ℃.

Delovna inflacija plina

Instrument za nadzor masnega pretoka plina ali ročna nastavitev ventila za napihovanje.

Bombardiranje z vakuumsko ionizacijo

DC 3KV, 06KW palčna katoda (se uporablja za čiščenje obdelovanca pred premazom).

Vir izhlapevanja (neobvezno)

1. Elektronska pištola TELEMARK-270 ° (uvožen), 6KW, nastavljiv visokonapetostni 4KV-10KV. Skeniranje pozicioniranja, trikotno valovno skeniranje, krožno skeniranje, spiralno skeniranje. Dobro ostrenje s svetlobnim snopom, visoka natančnost pozicioniranja, in dobro ponovljivost skeniranja.

2. Domača elektronska pištola (Zhenhua): 6KW, nastavljiva visokonapetostna 4KV ～ 8KV, lahko izbere trikotni val, sinusni val, prosto skeniranje kvadratnih valov.

3. Lonček: lonček s štirimi votlinami Φ38 × 20 ali s štirimi votlinami Φ38 × 20 plus lonček v obliki enojne votline z dolžino središčnega loka 87 (uporablja se za visoko porabo materialov za izhlapevanje pri nizkih tališčih) ali lonček s štirimi votlinami Φ48 × 18.

Ionski vir (neobvezno)

1. RF (Radio frekvenca) Ionski vir (Uvoženo).

2. 5KVA Hall ionski vir (proizvaja Zhenhua), se uporablja za čiščenje pred galvanizacijo ali pomožno prevleko v postopku galvanizacije, kar je koristno za izboljšanje lomnega indeksa filma, trdnost, ter gostoto in oprijemljivost filma.

Sistem za nadzor debeline filma (izbor)

1. Kristalni krmilnik MDC-360 (uvožen) lahko shrani 1 ～ 99 slojev avtomatskega postopka premazovanja, 99 vrste programskih podatkov, natančnost 0.5%+1? Odpravljena napaka. 2 Kristalni krmilnik TELEMARK-880 (uvoz): lahko shrani 1 ～ 99 slojev avtomatskega postopka premazovanja, 99 vrste podatkov programa. 精度 0,5%+1? Odpravljena napaka.

3. Optični krmilnik TELEMARK-820 (uvoz): sprejme tehnologijo analize končnih točk celotnega spektra z več valovnimi dolžinami, in oceni konec filma z analizo prepustnosti (ali odbojnost) krivulja lista monitorja 370-870 mm.Visoka natančnost nadzora, krmiljenje z eno valovno dolžino, lahko uporabite tudi samodejni in ročni nadzor.Dodatna programska oprema za izračun filma MACILEOD, visoka stopnja integracije.

4. Optični krmilnik TELEMARK-820 in kristalni krmilnik TELEMARK-880 lahko izpolnjujeta zahteve glede visoke natančnosti in visoke ponovljivosti premaza. Sodelujte z gostiteljskim računalnikom, da uresničite popolnoma avtomatski nadzor.

5. Domači optični krmilnik (kot naprimer 9704 ujemajoči se monokromator, itd.), valovna dolžina je nastavljiva od 330 do 870, natančnost pa lahko doseže ± 1,5 nm.

Komunikator

Z magnetno podlago, lahko ga postavite na kateri koli položaj vrat vakuumske komore in omare.

Mogoče vam je tudi všeč