Dobrodošli na naši spletni strani
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Industrijske novice

» novice » Industrijske novice

Načelo magnetronskega razpršitvenega cilja

2021年8月31日

 

Načelo razprševanja ciljnega magnetronskega razprševanja:

Med razpršeno tarčo se doda ortogonalno magnetno polje in električno polje (katoda) in anodo, in potrebnega inertnega plina (običajno plin Ar) se napolni v visoko vakuumsko komoro. Oblikuje se trajni magnet 250-350 na površini ciljnega materiala. Gaussovo magnetno polje, in visokonapetostno električno polje tvorita pravokotno elektromagnetno polje.

Pod delovanjem električnega polja, Ar plin ionizira v pozitivne ione in elektrone. Na tarčo pride določena negativna visoka napetost. Na elektrone, ki jih oddaja tarča, vpliva magnetno polje in verjetnost ionizacije delovnega plina se poveča, tvori plazmo visoke gostote v bližini katode. Pod delovanjem Lorentzove sile, Ar ioni pospešijo do ciljne površine in z veliko hitrostjo bombardirajo ciljno površino, tako da atomi, razpršeni iz tarče, sledijo načelu pretvorbe impulza in odletijo s ciljne površine z večjo kinetično energijo. Odlaganje podlage v film.

Magnetronsko razprševanje je na splošno razdeljeno na dve vrsti: brizganje pritokov in radiofrekvenčno razprševanje. Načelo opreme za brizganje pritokov je preprosto, njegova hitrost pa je tudi hitra pri razprševanju kovin .. Obseg uporabe radiofrekvenčnega razprševanja je obsežnejši. Poleg razprševanja prevodnih materialov, se lahko razpršijo tudi prevodni materiali. Ob istem času, lahko tudi izvede reaktivno razprševanje za pripravo sestavljenih materialov, kot so oksidi, nitridov, in karbidi..Če se frekvenca radijske frekvence poveča, postane mikrovalovno plazemsko razprševanje. Trenutno, elektronska ciklotronska resonanca (ECR) običajno se uporablja mikrovalovno plazemsko razprševanje..

Mogoče vam je tudi všeč

  • kategorije

  • Zadnje novice & Blog

  • Delite s prijateljem

  • PODJETJE

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantal Niobium Metal Material Co., Ltd. je kitajsko podjetje, specializirano za predelavo neželeznih kovin, služi globalnim strankam z visokokakovostnimi izdelki in popolno poprodajno storitvijo.

  • Kontaktiraj nas

    Mobilni:86-400-660-1855
    E-naslov:[email protected] aliyun.com
    Splet:www.chn-ti.com