Naprašovanie cieľov

Zoznam technických parametrov viacvrstvového zariadenia na optické poťahovanie

Model

GX-1050A

GX-800A

GX-900A

GX1200A

Veľkosť lakovacej miestnosti

Ф 1050 × 1250, 304 nehrdzavejúca oceľ.

Ф800 × 1000

Ф900 × 1050

200 1200 × 1250

Vnútorná veľkosť povlakovej dutiny

Držiak zariadenia je 1680 mm nad zemou, vhodné pre ergonomickú prevádzkovú výšku.

Držiak zariadenia je 1468 mm nad zemou, vhodné pre ergonomickú prevádzkovú výšku.

Držiak zariadenia je 1510 mm nad zemou, vhodné pre ergonomickú prevádzkovú výšku.

1.Oblúkový kotúč z jedného obrobku, stretnúť zákazníkov’ potreby rovnomernosti vo väčšej miere.Rotácia 5-30r/min, plynulá zmena rýchlosti.

2.Klenutý trojdielny kotúč, planetárna revolúcia a rotácia, v najväčšej miere uspokojiť potreby zákazníkov pre výrobnú kapacitu. Otáčky 5-30r/min, plynulá zmena rýchlosti.

Prípravok

K dispozícii v štyroch kusoch, uhol držiaka je nastaviteľný, aby vo väčšej miere zodpovedal potrebám zákazníkov na jednotnosť. Rotácia 5-30r/min, plynulá zmena rýchlosti.

Oblúkový kotúč z jedného obrobku, stretnúť zákazníkov’ potreby rovnomernosti vo väčšej miere.Rotácia 5-30r/min, plynulá zmena rýchlosti.

Vákuový systém

Jednotka: difúzne čerpadlo DIP-12000 (Leybold), Korenové čerpadlo ZJY-300, mechanické čerpadlo 2X-70, udržiavacie čerpadlo 2X-8. Potrubie je 304 nehrdzavejúca oceľ.

Jednotka: Difúzne čerpadlo KT-400 (Zhenhua), Korenové čerpadlo ZJY-150, mechanické čerpadlo 2X-70, udržiavacie čerpadlo 2X-8.

Jednotka: difúzne čerpadlo KT-600 (Zhenhua), Korenové čerpadlo ZJY-600, mechanické čerpadlo 2X-70, udržiavacie čerpadlo 2X-8.

Jednotka: Difúzne čerpadlo KT-800 (Zhenhua), Korenové čerpadlo ZJY-600, mechanické čerpadlo 2X-70, udržiavacie čerpadlo 2X-8.

Maximálne vákuum: lepšie ako 4 × 10-4 Pa.

Vybavený zariadením proti turbulenciám, dizajn bezpečnostného blokovania, manuálne a automatické voliteľné.

Vykurovací systém

Spôsob zahrievania na vykurovacej trubici, PID kontrola, maximálne 350 ℃ ± 1,5 ℃.

Pracovná inflácia plynu

Nástroj na reguláciu hmotnostného prietoku plynu alebo manuálne doladenie nafukovacieho ventilu.

Vákuové ionizačné bombardovanie

DC 3KV, 06KW tyčová katóda (používa sa na čistenie obrobku pred nanášaním povlaku).

Zdroj odparovania (voliteľné)

1. Elektrónová pištoľ TELEMARK-270 ° (dovezené), 6KW, vysoké napätie 4KV-10KV nastaviteľné. Polohovanie skenovanie, skenovanie trojuholníkových vĺn, kruhové skenovanie, špirálové skenovanie. Dobré bodové zaostrovanie lúčom, vysoká presnosť polohovania, a dobrú reprodukovateľnosť skenovania.

2. Domáca elektrónová pištoľ (Zhenhua): 6KW, vysoké napätie 4KV ～ 8KV nastaviteľné, môžete si vybrať trojuholníkovú vlnu, sínusová vlna, skenovanie štvorcových vĺn voľne.

3. Téglik: téglik so šiestimi dutinami Φ38 × 20 alebo so štyrmi dutinami Φ38 × 20 a s jednou dutinou v tvare oblúka so stredovým oblúkom 87 (používané na vysokú spotrebu odparovacích materiálov s nízkou teplotou topenia) alebo štvordutinový téglik Φ48 × 18.

Iónový zdroj (voliteľné)

1. RF (Rádiofrekvencia) Iónový zdroj (Importované).

2. 5Hallov zdroj iónov KVA (produkoval Zhenhua), používa sa na čistenie pred galvanickým pokovovaním alebo pomocným pokovovaním v procese galvanického pokovovania, čo je výhodné na zlepšenie indexu lomu filmu, pevnosť, a hustotu a priľnavosť filmu.

Systém regulácie hrúbky filmu (výber)

1. Kryštálový ovládač MDC-360 (dovezené) môže uložiť 1 až 99 vrstiev automatického procesu nanášania náteru, 99 druhy programových dát, presnosť 0.5%+1? Opravená chyba. Kryštálový ovládač 2TELEMARK-880 (import): môže uložiť 1 až 99 vrstiev automatického procesu nanášania náteru, 99 druhy údajov programu. 精度 0,5%+1? Opravená chyba.

3. Optický ovládač TELEMARK-820 (import): využíva technológiu analýzy koncových bodov s plným spektrom viacvlnných dĺžok, a posúdi koniec filmu na základe analýzy priepustnosti (alebo odrazivosť) krivka listu monitora 370-870 mm. Vysoká presnosť ovládania, ovládanie jednej vlnovej dĺžky, je možné použiť aj automatické ovládanie a ručné ovládanie. Dodatočný softvér na výpočet filmu MACILEOD, vysoký stupeň integrácie.

4. Optický ovládač TELEMARK-820 a kryštálový ovládač TELEMARK-880 môžu spĺňať požiadavky na vysokú presnosť a vysokú opakovateľnosť povlaku. Spolupracujte s hostiteľským počítačom a realizujte plne automatické ovládanie..

5. Domáci optický ovládač (ako napr 9704 zodpovedajúci monochromátor, atď.), vlnová dĺžka je nastaviteľná od 330 do 870, a presnosť môže dosiahnuť ± 1,5 nm.

Komunikátor

S magnetickou základňou, môže byť umiestnený v akejkoľvek polohe dverí vákuovej komory a rozvádzača.

Možno sa páči aj vám