Vitajte na našej webovej stránke
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Priemyselné novinky

» Správy » Priemyselné novinky

Princíp magnetrónového rozprašovacieho rozprašovacieho cieľa

2021年8月31日

 

Princíp naprašovania magnetrónového rozprašovania cieľa:

Medzi rozprašovaný cieľ sa pridá ortogonálne magnetické pole a elektrické pole (katóda) a anóda, a požadovaný inertný plyn (zvyčajne Ar plyn) sa plní do vysoko vákuovej komory. Vytvára sa permanentný magnet 250-350 na povrchu cieľového materiálu. Gaussovo magnetické pole, a vysokonapäťové elektrické pole tvorí ortogonálne elektromagnetické pole.

Pod pôsobením elektrického poľa, Ar plyn ionizuje na pozitívne ióny a elektróny. Na cieľ je aplikované určité negatívne vysoké napätie. Elektróny emitované z cieľa sú ovplyvnené magnetickým poľom a zvyšuje sa pravdepodobnosť ionizácie pracovného plynu, vytváranie plazmy s vysokou hustotou v blízkosti katódy. Pod pôsobením Lorentzovej sily, Ióny Ar urýchlia na cieľový povrch a bombardujú cieľový povrch vysokou rýchlosťou, aby atómy vystreknuté z cieľa postupovali podľa zásady premeny hybnosti a odleteli z povrchu cieľa s vyššou kinetickou energiou. Ukladanie substrátu do filmu.

Magnetrónové naprašovanie sa vo všeobecnosti delí na dva typy: naprašovanie a rádiofrekvenčné naprašovanie. Princíp zariadenia na naprašovanie prítoku je jednoduchý, a jeho rýchlosť je rýchla aj pri naprašovaní kovov..Rozsah použitia rádiového frekvenčného naprašovania je rozsiahlejší. Okrem rozprašovania vodivých materiálov, môžu byť naprašované aj nevodivé materiály. Zároveň, môže tiež viesť reaktívne naprašovanie na prípravu zložených materiálov, ako sú oxidy, nitridy, a karbidy..Ak je frekvencia rádiofrekvencie zvýšená, stane sa mikrovlnným plazmovým rozprašovaním. V súčasnosti, elektrónová cyklotrónová rezonancia (ECR) Bežne sa používa mikrovlnný plazmový rozprašovač..

Možno sa páči aj vám

  • Kategórie

  • Najnovšie správy & Blog

  • Zdieľať priateľovi

  • SPOLOČNOSŤ

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantalum Niobium Metal Material Co., Ltd.. je čínsky podnik špecializujúci sa na spracovanie neželezných kovov, slúži globálnym zákazníkom s vysoko kvalitnými produktmi a perfektným popredajným servisom.

  • Kontaktuj nás

    Mobilné:86-400-660-1855
    E-mail:[email protected] aliyun.com
    Web:www.chn-ti.com