Vitajte na našej webovej stránke
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Správy

» Správy

Analýza problému otravy a sčernania cieľovej polovice po naprašovaní

2021年8月31日

 

Otázka: Reaktívna technológia magnetrónového naprašovania ukladá film z nitridu zirkónia, cieľ sú dva palce, rozprašovací plyn je argón, reaktívny plyn je N2, výkon je 300W, rádiofrekvenčný napájací zdroj, depozícia je dve hodiny, a cieľ je po dokončení vytiahnutý. Pozrite sa na jav popísaný v názve, či už ide o otravu terčom alebo iné dôvody, ale prečo sa objaví iba polovica?

Rozumová analýza 1: Môže to súvisieť so zavedením vysokofrekvenčného výkonu

Rozumová analýza 2: Taký malý cieľ, dva palce?Je chladenie rovnomerné??

Rozumová analýza 3: 300K tak malému cieľu sa pridá výkon W., môže chladenie držať krok? Existuje podozrenie, že chladenie nie je dobré, spôsobuje polovicu čiernej!

Rozumová analýza 4: nedostatočné chladenie. Je teplota príliš vysoká?

Rozumová analýza 5: Môže to súvisieť s vysokým výkonom. Trúfam si iba zvýšiť silu cieľa s priemerom 60 asi 100W.

Analýza príčin 6: Je napájací zdroj stabilný do dvoch hodín Je možné, že je energia príliš vysoká, alebo sa môže stať, že sa strana cieľa dotkne uzemneného komponentu

Rozumová analýza 7: Existuje podozrenie, že je problém so vzduchotesnosťou, osobne sa zamysli

Riešenie 1: Návrh 1) Skontrolujte rovnomernosť plynu; 2) Či je na jednej strane únik vzduchu?

Riešenie 2: Odporúča sa vykonať analýzu XPS, alebo urobte experiment znova.

Zhrnutie: Na základe vyššie uvedenej analýzy, hlavnými dôvodmi, ktoré spôsobujú otravu a čierny cieľ, sú príliš vysoké teploty, nestabilné napájanie, rovnomernosť plynu a vzduchotesnosť. Skontrolujte tieto možné hlavné príčiny, a krok za krokom ich odstraňujte.

Možno sa páči aj vám

  • Kategórie

  • Najnovšie správy & Blog

  • Zdieľať priateľovi

  • SPOLOČNOSŤ

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantalum Niobium Metal Material Co., Ltd.. je čínsky podnik špecializujúci sa na spracovanie neželezných kovov, slúži globálnym zákazníkom s vysoko kvalitnými produktmi a perfektným popredajným servisom.

  • Kontaktuj nás

    Mobilné:86-400-660-1855
    E-mail:[email protected] aliyun.com
    Web:www.chn-ti.com