اسان جي ويب سائيٽ تي Welcomeليڪار
َ0086-18429179711 َ27898790aliyun.com

صنعتي خبرون

. خبرون . صنعتي خبرون

ٽارگيٽ ٽارگيٽ ميگنيٽرون utرڻ جو اصول

2021年8月31日

 

ميگنيٽرون utرڻ جو اصول: شامل ڪريو هڪ orthogonal مقناطيسي ميدان ۽ برقي ميدان وچ ۾ ٽٽل ٽارگيٽ (ڪيٿوڊ) ۽ انوڊ, ۽ utڙڪڻ وارو ٽارگيٽ inريو ويندو گھربل غير ضروري گئس سان (عام طور تي گئس) اعلي ويڪيوم چيمبر ۾. مستقل مقناطيس بڻجي ٿو a 250-350 ھدفاتي مواد جي مٿاري تي مقناطيسي ميدان کي ڪي ٿو, ۽ orاھي ٿو ھڪڙو اوٿوگونل برقياتي مقناطيسي ميدان تيز وولٽيج برقي ميدان سان..

برقي ميدان جي عمل هي, آر گيس مثبت آئنن ۽ اليڪٽرانن ۾ ionizes. هڪ مخصوص منفي هاءِ وولٽيج لا appliedو ڪئي وئي آهي ٽارگيٽ تي. ھدف مان نڪرندڙ اليڪٽران مقناطيسي ميدان کان متاثر ٿين ٿا ۽ ڪم ڪندڙ گئس جي آئنائيزيشن جو امڪان وي ٿو, ڪيٿوڊ جي aرسان هڪ اعلي کثافت وارو پلازما اهڻ. Lorentz فورس جي عمل جي تحت, Ar ions تيز ٿين ٿا ھدف جي مٿاري تي ۽ بمباري ڪن ٿا ھدف جي مٿاري تي تيز رفتار سان, انھيءَ لاءِ ته ائٽم ٽارگيٽ کان اھر نڪرن ، رفتار جي تبديليءَ جي اصول جي پيروي ڪن ۽ ھدف واري مٿاري کان ا flyتي و higherن تيز ڪائناتي توانائي سان.. فلم ۾ ذيلي ذخيرو. Magnetron sputtering عام طور تي twoن قسمن ۾ ورھايل آھي: ڊي سي اسپٽرنگ ۽ ريڊيو فريڪوئنسي اسپٽرنگ. DC sputtering سامان جو اصول سادو آھي. جڏهن spاتو utري رهيو آهي, ان جي شرح پڻ تيز آهي..

ريڊيو فريڪوئنسي اسپٽرنگ جي اپليڪيشن جي حد و moreيڪ وسيع آھي. ان کان علاوه ھلندڙ مواد کي utڪڻ, غير conductive مواد به sputtered ڪري سگهجي ٿو. ساڳئي وقت ۾, اهو پڻ ڪري سگھي ٿو رد عمل واري utڪتاڻ تيار ڪرڻ لاءِ مرڪب مواد تيار ڪرڻ جهڙوڪ آڪسائيڊ, نائٽرائڊس, ۽ ڪاربائيڊز .. جڏھن utڙڪڻ واري ٽارگيٽ جي ريڊيو فريڪوئنسي و theي وي ٿي, اھو ٿي ويندو مائڪرو ويڪرو پلازما utھلجڻ وارو. في الحال, اليڪٽران سائيڪلٽرون گونج (اي سي آر) قسم مائڪرو ويڪرو پلازما utرڻ عام طور تي استعمال ٿيندو آهي..

ٿي سگھي ٿو توھان کي به پسند ھجي

  • Categoriesاا

  • تازيون خبرون & بلاگ

  • دوست سان حصيداري ڪريو

  • ڪمپني

    شانسي Zhongbei Titanium Tantalum Niobium Metal Material Co., ل. ھڪڙو چيني ادارو آھي جيڪو غير الٽي دھاتن جي پروسيسنگ ۾ ماهر آھي, خدمت ڪري رھيا آھن عالمي گراهڪن کي اعليٰ معيار جي شين ۽ perfectرپور سيلز سروس کان پوءِ.

  • اسان سان رابطو ڪريو

    موبائل:86-400-660-1855
    اي ميل:27898790aliyun.com
    ويب:www.chn-ti.com