Добро пожаловать на наш сайт
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Промышленные новости

» Новости » Промышленные новости

Принцип магнетронного распыления распыляющей мишени

2021年8月31日

 

Принцип распыления мишени магнетронным распылением:

Ортогональное магнитное поле и электрическое поле добавляются между распыляемой мишенью. (катод) и анод, и необходимый инертный газ (обычно газ Ar) заполняется в камере высокого вакуума. Постоянный магнит образует 250-350 на поверхности целевого материала. Гауссово магнитное поле, а электрическое поле высокого напряжения образуют ортогональное электромагнитное поле.

Под действием электрического поля, Газ Ar ионизируется на положительные ионы и электроны.. На цель подается определенное отрицательное высокое напряжение.. На электроны, вылетающие из мишени, действует магнитное поле, и вероятность ионизации рабочего газа увеличивается., формирование плазмы высокой плотности около катода. Под действием силы Лоренца, Ионы Ar ускоряются к поверхности цели и бомбардируют поверхность цели с высокой скоростью., так что атомы, распыленные из мишени, следуют принципу преобразования импульса и улетают от поверхности мишени с более высокой кинетической энергией.. Нанесение субстрата на пленку.

Магнетронное распыление обычно делится на два типа.: вторичное распыление и радиочастотное распыление. Принцип работы оборудования для вторичного распыления прост., и его скорость также высока при напылении металлов. Диапазон применения радиочастотного напыления шире.. Помимо распыления токопроводящих материалов, непроводящие материалы также могут распыляться. В то же время, он также может проводить реактивное распыление для получения сложных материалов, таких как оксиды, нитриды, и карбиды .. Если увеличить частоту радиочастоты, это становится микроволновым плазменным напылением. В настоящий момент, электронный циклотронный резонанс (ECR) Обычно используется микроволновое плазменное напыление..

Может тебе тоже нравится

  • Категории

  • Свежие новости & Блог

  • Поделиться с другом

  • КОМПАНИЯ

    Компания Shaanxi Zhongbei Titanium Tantalum Niobium Metal Material Co., ООО. китайское предприятие, специализирующееся на обработке цветных металлов., обслуживание клиентов по всему миру высококачественной продукцией и безупречным послепродажным обслуживанием.

  • Свяжитесь с нами

    Мобильный:86-400-660-1855
    Электронная почта:[email protected] aliyun.com
    Интернет:www.chn-ti.com