Производство и применение титан-алюминиевых мишеней с PVD-покрытием.

Традиционно используемый метод литья и метод порошковой металлургии для изготовления мишени из титано-алюминиевого сплава..

Метод литья мишеней из титано-алюминиевого сплава не позволяет избежать пористости и усадки.. Литые трубы и слитки из титанового алюминия большого размера не могут гарантировать герметичность и водонепроницаемость при изготовлении вращающейся трубы-мишени., и по мере протравливания стенки трубки, толщина стенки меняется Тонкая, свободные и усадочные отверстия до тех пор, пока есть соединенное отверстие, уплотнение станет хуже, более легкие будут протекать, целевая трубка начнет разряжаться, или большое количество примесей будет участвовать в реакции и вызовет падение пленки или неправильный цвет .. В тяжелых случаях, вода напрямую впрыскивается из усадочной полости в вакуумную камеру, который загрязнит реальную полость и вакуумный блок.

Производство методом порошковой металлургииТитано-алюминиевая мишеньНет проблемы пористости и усадки, но с микроскопической точки зрения порошковой металлургии, это также пористый материал, так что если вы хотите сделатьВращающаяся трубчатая мишень из титанового алюминия, Требования к компактности материала очень жесткие., плотность должна быть больше чем 98%, но соответствие требованиям плотности не означает, что его можно использовать., внутреннее напряжение слитка титана алюминия велико, и легко рухнуть, и его нельзя использовать в качестве вращающейся трубки-мишени. Следовательно, существует множество требований к производству порошка и соотношению размеров частиц .. Даже если эти условия выполняются, титановое алюминиевое кольцо порошковой металлургии необходимо привязать к трубке из нержавеющей стали или титановой трубке. Благодаря большому коэффициенту теплового расширения титанового алюминия, при напылении локальное расширение мишени может достигать нуля ... 5 ～ 1м, поэтому традиционный метод связывания слитков не может эффективно решить эту проблему.. Происходит разделение слитков титановой и алюминиевой связки., а тепловая энергия поверхности цели не может проводиться и взрывается .. Однако, плотное соединение ненадежно, и качество мишени из титано-алюминиевого сплава, напыляемой плазмой, оставляет желать лучшего..

Декоративное покрытие из розового золота в часах, ювелирные украшения, и индустрии очков. Совсем недавно, многие требования не содержат углерод и, кроме того, делают основной цвет розы близким к розовому золоту лица .. По нашему мнению, TiCN больше не может соответствовать требованиям. TiAlN - лучшее решение. В недорогих часовых украшениях нет требований к толщине пленки и глянцу.. В большинстве из них для нанесения TiAlN используются дуговые титановые алюминиевые мишени.. Часы элитных брендов требуют толщины более 1 мкм и блеска.. Не может упасть. На дугу влияют капли, поэтому она не дает гладкой и толстой пленки.О'КеллиИз обратной связи по текущему порядку подачи видно, что лучшим способом является нанесение TiAIN с помощью вращающейся трубки-мишени., не только цвет ближе к розовому золоту, но глянец не изменится после увеличения толщины..