Добро пожаловать на наш сайт
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Новости

» Новости

Анализ проблемы отравления и почернения половины мишени после напыления.

2021年8月31日

 

Вопрос: Технология реактивного магнетронного распыления позволяет наносить пленку нитрида циркония, цель - два дюйма, распыляющий газ - аргон, реактивный газ - N2, мощность 300Вт, радиочастотный источник питания, осаждение составляет два часа, и цель вынимается после завершения. Посмотрите на явление, описанное в названии, будь то целевое отравление или другие причины, но почему появляется только половина?

Анализ причин 1: Это может быть связано с введением радиочастотной энергии.

Анализ причин 2: Такая маленькая цель, два дюйма?Охлаждение равномерное??

Анализ причин 3: 300К такой маленькой цели добавляется мощность Вт., может ли охлаждение продолжатьсяПодозревается, что охлаждение не очень хорошее, вызывая половину черного!

Анализ причин 4: недостаточное охлаждение. слишком высокая температура?

Анализ причин 5: Это может быть связано с большой мощностью. Осмелюсь лишь увеличить мощность мишени диаметром 60 примерно до 100 Вт.

Анализ причин 6: Стабильно ли питание через два часа Возможно, слишком высокая энергия, или может случиться так, что сторона мишени касается заземленного компонента

Анализ причин 7: Подозревается проблема с герметичностью, лично думаю

Решение 1: Предположение 1) Проверить однородность газа; 2) Есть ли утечка воздуха с одной стороны?

Решение 2: Рекомендуется сделать XPS-анализ., или проделайте эксперимент еще раз.

Резюме: На основании приведенного выше анализа, Основные причины, по которым цель отравляется черным цветом, - это чрезмерно высокая температура, нестабильное электроснабжение, однородность газа и воздухонепроницаемость.Проверьте эти возможные основные причины, и устраняйте их шаг за шагом.

Может тебе тоже нравится

  • Категории

  • Свежие новости & Блог

  • Поделиться с другом

  • КОМПАНИЯ

    Компания Shaanxi Zhongbei Titanium Tantalum Niobium Metal Material Co., ООО. китайское предприятие, специализирующееся на обработке цветных металлов., обслуживание клиентов по всему миру высококачественной продукцией и безупречным послепродажным обслуживанием.

  • Свяжитесь с нами

    Мобильный:86-400-660-1855
    Электронная почта:[email protected] aliyun.com
    Интернет:www.chn-ti.com