Добро пожаловать на наш сайт
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Промышленные новости

» Новости » Промышленные новости

Преимущества цилиндрических и планарных мишеней для магнетронного распыления

2021年10月19日

По сравнению с другими формами мишеней для магнетронного распыления, цилиндрические и плоские мишени для магнетронного распыления сохраняют преимущества хорошей однородности покрытия для прямоугольных плоских мишеней, и может максимизировать целевой материал двумя следующими способами.:

(1) Когда две группы (четыре) кольцевых ямок на целевой поверхности достигают определенной глубины, целевое ядро (магнитная часть) может поворачиваться на 45 ° относительно целевой трубы, так, чтобы другие участки целевой трубки, которые не были корродированы, можно было использовать

(2) Когда сердечник мишени цилиндрической и планарной мишени магнетронного распыления выполнен в виде вращающегося сердечника мишени., (ядро мишени вращается во время распыления), поверхность материала мишени может быть распылена равномерно слой за слоем, и ям не будет. На данный момент, целевой материал будет использован наиболее эффективно, и коэффициент использования целевого материала может достигать 50% к 60%. Когда целевой материал представляет собой драгоценный металл, это, несомненно, имеет большое значение..

Приняв принцип магнита и башмака в коаксиальной цилиндрической мишени магнетронного распыления, чтобы решить проблему конечного магнитного поля, прямоугольная плоская мишень может быть преобразована в цилиндрическую, планарная мишень для магнетронного распыления, который сохраняет покрытие прямоугольной плоской мишени В случае хорошей однородности, степень использования целевого материала может быть максимизирована, тем самым улучшая экономические выгоды.

Может тебе тоже нравится

  • Категории

  • Свежие новости & Блог

  • Поделиться с другом

  • КОМПАНИЯ

    Компания Shaanxi Zhongbei Titanium Tantalum Niobium Metal Material Co., ООО. китайское предприятие, специализирующееся на обработке цветных металлов., обслуживание клиентов по всему миру высококачественной продукцией и безупречным послепродажным обслуживанием.

  • Свяжитесь с нами

    Мобильный:86-400-660-1855
    Электронная почта:[email protected] aliyun.com
    Интернет:www.chn-ti.com