Bine ati venit pe site-ul nostru
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Știri industriale

» Știri » Știri industriale

Principiul țintei de pulverizare a magnetronului

202131 august

 

Principiul pulverizării țintei magnetronului:

Un câmp magnetic ortogonal și un câmp electric sunt adăugate între ținta pulverizată (catod) și anodul, și gazul inert necesar (de obicei Ar gaz) este umplut în camera cu vid înalt. Magnetul permanent se formează 250-350 pe suprafața materialului țintă. Câmpul magnetic gaussian, iar câmpul electric de înaltă tensiune formează un câmp electromagnetic ortogonal.

Sub acțiunea câmpului electric, Gazul ar se ionizează în ioni pozitivi și electroni. O anumită tensiune negativă ridicată este aplicată țintei. Electronii emiși de țintă sunt afectați de câmpul magnetic și probabilitatea de ionizare a gazului de lucru crește, formând o plasmă de înaltă densitate în apropierea catodului. Sub acțiunea forței Lorentz, Arionii accelerează până la suprafața țintă și bombardează suprafața țintă cu o viteză mare, astfel încât atomii săvârșiți din țintă să urmeze principiul conversiei impulsului și să zboare de la suprafața țintă cu energie cinetică mai mare. Depunerea substratului în film.

Pulverizarea magnetronului este în general împărțită în două tipuri: pulverizare tributară și pulverizare radio frecvență. Principiul echipamentului de pulverizare tributară este simplu, iar rata sa este, de asemenea, rapidă atunci când pulverizează metale..Gama de aplicare a pulverizării cu frecvență radio este mai extinsă. Pe lângă pulverizarea materialelor conductive, materialele neconductoare pot fi, de asemenea, pulverizate. In acelasi timp, de asemenea, poate efectua pulverizare reactivă pentru a prepara materiale compuse, cum ar fi oxizii, nitruri, și carburi..Dacă frecvența frecvenței radio este crescută, devine pulverizare cu plasmă cu microunde. În prezent, rezonanță ciclotronă electronică (ECR) tipul de pulverizare cu plasmă cu microunde este frecvent utilizat..

Poate iti place si tie

  • Categorii

  • Știri recente & Blog

  • Distribuie unui prieten

  • COMPANIE

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantal Niobium Metal Material Co., Ltd.. este o întreprindere chineză specializată în prelucrarea metalelor neferoase, deservirea clienților globali cu produse de înaltă calitate și servicii post-vânzare perfecte.

  • Contactează-ne

    Mobil:86-400-660-1855
    E-mail:[email protected] aliyun.com
    Web:www.chn-ti.com