Fabricarea și aplicarea țintelor de pulverizare din titan aluminiu acoperite cu PVD

Metoda de turnare folosită în mod tradițional și metoda metalurgiei pulberilor pentru a produce țintă din aliaj de titan și aluminiu.

Metoda de turnare a țintelor din aliaj de titan și aluminiu nu poate evita porozitatea și contracția. Țevile și lingourile turnate din aluminiu din titan de dimensiuni mari nu pot garanta efectul de etanșare și impermeabilitate la realizarea țintei rotative a tubului, iar pe măsură ce peretele tubului este gravat, grosimea peretelui se schimbă Subțire, găuri libere și de contracție atâta timp cât există o gaură conectată, sigilarea va deveni mai rea, cele mai ușoare se vor scurge, tubul țintă va începe să se descarce, sau o cantitate mare de impuritate va participa la reacție și va cauza căderea filmului sau culoarea este greșită..În cazuri severe, apa este injectată direct din cavitatea de contracție în camera de vid, care va contamina cavitatea reală și unitatea de vid.

Producția procesului de metalurgie a pulberilorȚintă de aluminiu din titanNu există nicio problemă de porozitate și contracție, dar din punct de vedere microscopic al metalurgiei pulberilor, este, de asemenea, un material poros, deci dacă vrei să faciȚintă rotativă pentru tub rotativ din aluminiu și titan, Cerințele pentru compactitatea materialelor sunt foarte stricte, densitatea trebuie să fie mai mare decât 98%, dar îndeplinirea cerințelor de densitate nu înseamnă că poate fi utilizat. Dacă conținutul de oxigen al lingoului de titan aluminiu este ridicat și microstructura este nerezonabilă, stresul intern al lingoului de titan aluminiu este mare, și este ușor să se prăbușească, și nu poate fi folosit ca țintă rotativă a tubului. Prin urmare, există multe cerințe pentru producția de pulbere și raportul dimensiunii particulelor..Chiar dacă sunt îndeplinite aceste condiții, inelul metalurgic al pulberii din titan și aluminiu trebuie legat de tubul din oțel inoxidabil sau de tubul din titan. Datorită coeficientului de expansiune termică mare al titanului aluminiu, extinderea țintei locale poate ajunge la zero în timpul pulverizării..5 ～ 1m, deci metoda tradițională de legare a lingourilor nu poate rezolva în mod eficient această problemă. Se produce separarea lingourilor de legare din titan și aluminiu, iar energia termică a suprafeței țintă nu poate fi condusă și explodează..Cu toate acestea, legătura strânsă de potrivire nu este fiabilă, iar calitatea țintei din aliaj de aluminiu de titan pulverizat cu plasmă este slabă..

Acoperire decorativă aur roz în ceas, Bijuterii, și industriile de ochelari. Recent, multe cerințe nu conțin carbon și fac în plus culoarea de trandafir subiacentă apropiată de față de aur roz..În opinia noastră, TiCN nu mai poate îndeplini cerințele. TiAlN este cea mai perfectă soluție. Bijuteriile cu ceasuri de ultimă generație nu au cerințe pentru grosimea și luciul filmului. Majoritatea utilizează ținte din aluminiu cu arc din titan pentru a depune TiAlN. Ceasurile de marcă de vârf necesită o grosime mai mare de 1um și luciu. Arcul este afectat de picături și nu are niciun avantaj în filmul neted și grosO’KellyDin feedback-ul comenzii de aprovizionare curente se poate observa că o modalitate mai bună este de a depune TiAIN cu o țintă rotativă a tubului, nu numai că culoarea este mai aproape de aurul roz, dar luciul nu va fi afectat după creșterea grosimii..