Welcome to our website
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Industrial news

» News » Industrial news

Cum afectează densitatea relativă și porozitatea materialului țintă calitatea stratului de acoperire ??

2021年10月10日

Densitatea relativă a țintei este raportul dintre densitatea reală a țintei și densitatea teoretică. Densitatea teoretică a țintei cu un singur component este densitatea cristalină. Densitatea teoretică a aliajului sau amestecului țintă este determinată de densitatea teoretică a fiecărui component și de compoziția sa în aliaj sau amestec. Calculat în procente. Structura țintei de pulverizare termică este slabă și poroasă, iar conținutul de oxigen este ridicat (chiar dacă este pulverizare în vid, este dificil să se evite producția de oxizi și nitruri în ținta aliajului), suprafața este cenușie, nu are luciu metalic, iar impuritățile și umiditatea adsorbite sunt principalii factori. Sursa de poluare împiedică achiziționarea rapidă a vidului ridicat, duce cu ușurință la descărcare în timpul procesului de pulverizare, și chiar arde materialul țintă.

In acelasi timp, temperatura ridicată instantanee a suprafeței de pulverizare a țintei va provoca cu ușurință căderea particulelor libere, contaminează suprafața sticlei, și afectează calitatea stratului de acoperire .. Există reglementări clare pentru eliberarea punctuală a suprafeței de sticlă acoperită. Cu cât densitatea relativă este mai mare, cu cât viteza de formare a peliculei este mai mare și cu atât procesul de pulverizare este mai stabil .. Conform diferenței în procesul de preparare a materialului țintă, densitatea relativă a țintei de turnare prin fuziune ar trebui să fie garantată să fie mai mare 98%, iar obiectivul metalurgiei pulberilor ar trebui să fie garantat să fie peste 97% pentru utilizare în producție..De aceea, este necesar să controlați cu strictețe densitatea materialului țintă pentru a reduce apariția căderii de zgură .. Materialul țintă de pulverizare are densitate redusă și costuri reduse de pregătire. Când densitatea relativă poate garanta mai mult de 90%, în general nu afectează utilizarea. În prezent, țintele SiA1 utilizate în China sunt toate ținte de pulverizare..

Pe lângă densificare, dacă materialul țintă este anormal în timpul procesului de producție, cum ar fi particulele mari care cad sau se micșorează găurile atunci când sunt încălzite, mai mulți pori (defecte interne) se va forma, iar interiorul materialului țintă va apărea mai mare (țintă de topire>2mm, țintă de pulverizare> 0.5mm) sau găuri mai dense se vor descărca din cauza concentrației de sarcini, care va afecta utilizarea. Țintele cu densitate mică și porii sunt predispuse la așchiere în timpul procesării ulterioare, manipulare sau instalare.Materialul țintă cu densitate relativă ridicată și puțini pori are o conductivitate termică bună, iar căldura de pe suprafața materialului țintă sputtering este ușor și rapid transferată pe suprafața interioară a materialului țintă sau apa de răcire din căptușeală, iar disiparea căldurii este bună, asigurând astfel stabilitatea procesului de formare a filmului.

Maybe you like also

  • Categories

  • Recent News & Blog

  • Share to friend

  • COMPANY

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantalum Niobium Metal Material Co., Ltd.. is a Chinese enterprise specializing in the processing of non-ferrous metals, serving global customers with high quality products and perfect after-sales service.

  • Contactează-ne

    Mobil:86-400-660-1855
    E-mail:[email protected] aliyun.com
    Web:www.chn-ti.com