Bine ati venit pe site-ul nostru
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Știri

» Știri

Analiza problemei otrăvirii și înnegririi jumătății țintei după pulverizare

202131 august

 

Întrebare: Tehnologia reactivă de pulverizare a magnetronului depune folie de nitrură de zirconiu, ținta este de doi centimetri, gazul pulverizat este argonul, gazul reactiv este N2, puterea este de 300W, sursa de alimentare cu frecvență radio, depunerea este de două ore, iar ținta este scoasă după finalizare. Uită-te la fenomenul descris în titlu, indiferent dacă este vorba de otrăvirea țintei sau din alte motive, dar de ce apare doar jumătate din ea?

Analiza rațiunii 1: Poate fi legat de introducerea puterii de frecvență radio

Analiza rațiunii 2: O țintă atât de mică, doi centimetri?Este uniforma de răcire?

Analiza rațiunii 3: 300Puterea W este adăugată la o țintă atât de mică, se poate menține răcirea Se suspectează că răcirea nu este bună, provocând jumătate din negru!

Analiza rațiunii 4: răcire insuficientă. Temperatura este prea ridicată?

Analiza rațiunii 5: Poate fi legat de puterea mare. Îndrăznesc să măresc puterea țintei doar cu un diametru de 60 la aproximativ 100W.

Analiza cauzei 6: Alimentarea este stabilă în două ore Este posibil ca energia să fie prea mare, sau se poate întâmpla ca partea țintei să atingă o componentă împământată

Analiza rațiunii 7: Se suspectează că există o problemă cu etanșeitatea la aer, gandeste-te personal

Soluţie 1: Sugestie 1) Verificați uniformitatea gazului; 2) Dacă există o scurgere de aer pe o parte?

Soluţie 2: Se recomandă efectuarea unei analize XPS, sau faceți din nou experimentul.

rezumat: Pe baza analizei de mai sus, principalele motive care determină otrăvirea țintei și negru sunt temperaturile excesiv de ridicate, alimentare instabilă, uniformitatea gazului și etanșeitatea la aer. Verificați aceste posibile cauze principale, și depanați-le pas cu pas.

Poate iti place si tie

  • Categorii

  • Știri recente & Blog

  • Distribuie unui prieten

  • COMPANIE

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantal Niobium Metal Material Co., Ltd.. este o întreprindere chineză specializată în prelucrarea metalelor neferoase, deservirea clienților globali cu produse de înaltă calitate și servicii post-vânzare perfecte.

  • Contactează-ne

    Mobil:86-400-660-1855
    E-mail:[email protected] aliyun.com
    Web:www.chn-ti.com