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Quais são os alvos de pulverização catódica de cerâmica comuns

2021年10月10日

Com o desenvolvimento da indústria eletrônica, materiais de alta tecnologia estão gradualmente mudando para filmes finos, e durante o período de revestimento, eles se desenvolvem rapidamente. O alvo é um material eletrônico especial de alto valor agregado, e é a fonte de materiais de filme fino de pulverização catódica. Como o material básico para o desenvolvimento da indústria de filme fino não metálico, alvos de cerâmica alcançaram um desenvolvimento sem precedentes, e o mercado-alvo está se expandindo dia a dia..

Alvos planos de cerâmica doméstica usam principalmente processos de sinterização e ligação, que pode produzir um comprimento máximo de 600 mm, uma largura máxima de 400 mm, e uma espessura máxima de 30mm. Os cantos arredondados, bordas chanfradas, etapas e outras formas especiais podem ser processadas de acordo com os requisitos do cliente..

Os alvos cerâmicos comuns incluem principalmente: ESTE alvo, alvo de óxido de magnésio, alvo de óxido de ferro, alvo de nitreto de silício, alvo de carboneto de silício, alvo de nitreto de titânio, alvo de óxido de cromo, alvo de óxido de zinco, alvo de monóxido de silício, alvo de óxido de cério, Alvo de sulfeto de zinco, alvo de dióxido de silício, alvo de dióxido de zircônio, alvo de pentóxido de nióbio, alvo de dióxido de titânio, alvo de dióxido de háfnio, alvo de diboreto de titânio, alvo de diboreto de zircônio, alvo de trióxido de tungstênio, óxido de aluminio, Pentóxido de tântalo alvo, alvo de pentóxido de nióbio, alvo de fluoreto de magnésio, alvo de fluoreto de ítrio, alvo de seleneto de zinco, alvo de nitreto de alumínio, alvo de nitreto de silício, alvo de nitreto de boro, alvo de nitreto de titânio, alvo de carboneto de silício , Alvo de niobato de lítio, alvo de titanato de praseodímio, alvo de titanato de bário, alvo de titanato de lantânio, alvo de óxido de níquel, etc..

Tipos de alvos de cerâmica:

(1) De acordo com a composição química, pode ser dividido em alvo cerâmico de óxido, alvo de cerâmica silicida, nitreto de cerâmica alvo, alvo de cerâmica de flúor e alvo de cerâmica de sulfeto, etc .. Entre eles, o alvo cerâmico ITO de tela plana tem sido amplamente produzido e aplicado na China. Alvos cerâmicos para filmes isolantes de alto dielétrico e alvos cerâmicos de magnetorresistência gigante têm amplas perspectivas de aplicação.

(2) De acordo com o aplicativo, pode ser dividido em alvos cerâmicos relacionados a semicondutores, exibir alvos de cerâmica, alvos cerâmicos de gravação magnética, alvos cerâmicos de gravação óptica, alvos cerâmicos supercondutores, alvos cerâmicos de magnetorresistência gigante, etc..

Alvos cerâmicos representam apenas uma parte muito pequena da complexa fabricação de produtos eletrônicos existentes, mas eles desempenham um papel como um material básico de liderança para a indústria da informação ... a indústria da informação eletrônica do meu país está se desenvolvendo rapidamente, e a demanda por alvos de pulverização catódica de cerâmica está aumentando ano a ano. A futura pesquisa e desenvolvimento de alvos de pulverização catódica de cerâmica será um tópico importante para os fornecedores-alvo de nosso país..

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