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A influência da pulverização catódica visa a pureza e a uniformidade do material na produção de revestimentos de grandes áreas

2021年10月10日

O editor do revestimento do material alvo foi mencionado antes, no processo de pulverização catódica, a qualidade do material alvo é maior do que a da indústria de material tradicional. Neste artigo, o editor continuará a apresentar o impacto da pureza e uniformidade do material do material alvo no revestimento de grande área. Venha e aprenda sobre isso ~

A pureza do material alvo de pulverização catódica tem um impacto maior no desempenho do filme a ser revestido. Quando o vidro limpo entra na câmara de revestimento de alto vácuo, se a pureza do material alvo não for suficiente, as partículas de impureza no material alvo irão aderir à superfície do vidro durante o processo de pulverização catódica sob a ação do campo elétrico e campo magnético. O fenômeno da separação aparece com firmeza., quanto maior a pureza do alvo, melhor será o desempenho do filme depositado.

Para alvos com baixa condutividade térmica, como alvos SiA1, a presença de impurezas no alvo muitas vezes faz com que a transferência de calor seja bloqueada, ou a diferença entre a temperatura da água de resfriamento usada na produção e a temperatura real da água da linha de revestimento, etc., faz com que o alvo rache durante o uso. Pequenas fissuras não terão grande impacto na produção de revestimentos., quando há rachaduras óbvias no material alvo, a carga é muito fácil de se concentrar na borda da parte da rachadura, que causará descarga anormal na superfície alvo. O fenômeno de descarga causará queda de escória, formação de filme anormal, e aumento da sucata do produto., no processo de preparação do alvo, além de controlar a pureza, as condições do processo de preparação também devem ser controladas.

Para alvos de liga, distribuição desigual de material freqüentemente ocorre, como aglomeração de alumínio no alvo SiAl, segregação de alumínio no alvo de zinco-alumínio (a massa atômica do alumínio é 27 menos do que a massa atômica do zinco 65, e o alumínio é resfriado durante o processo de resfriamento após o vazamento. Vai flutuar, causando alto teor de alumínio de um lado e baixo de um lado).Devido ao baixo ponto de fusão, o Al aglomerado no alvo de SiA1 é propenso a escória durante o processo de formação de filme de pulverização catódica, e a quantidade de A1 adicionada durante o processo de pulverização é certa. Quando ocorre parte da aglomeração, indica que o teor de alumínio em outros locais é menor, que afeta o alvo SiA1. A condutividade térmica e a condutividade elétrica do filme, resultando em taxa de pulverização inconsistente, uniformidade pobre do filme, rachadura do material alvo, agravando o fenômeno de descarga alvo, e também reduzindo a qualidade da formação do filme. A segregação dos componentes alvo afetará a taxa de pulverização catódica (uniformidade do filme) e composição do filme., além de controlar a pureza do material alvo, a distribuição do material no alvo da liga também é muito importante.

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