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Lista de parâmetros técnicos da máquina de revestimento óptico multicamadas

202131 de agosto

modelo
GX-1050A
GX-800A
GX-900A
GX1200A
Tamanho da sala de revestimento
Ф1050 × 1250, 304 aço inoxidável.
Ф800 × 1000
Ф900 × 1050
Ф1200 × 1250
Tamanho interno da cavidade de revestimento
O suporte de fixação está 1680 mm acima do solo, adequado para altura de operação ergonômica.
O suporte de fixação está 1468 mm acima do solo, adequado para altura de operação ergonômica.
O suporte de fixação está 1510 mm acima do solo, adequado para altura de operação ergonômica.
1.Disco de peça única arqueado, para atender clientes’ precisa de uniformidade em uma extensão maior. Rotação 5-30 r / min, mudança de velocidade contínua.
2.O disco de três peças arqueado, revolução planetária e rotação, para atender as necessidades dos clientes para capacidade de produção ao máximo. Rotação 5-30 r / min, mudança de velocidade contínua.
Luminária
Disponível em quatro peças, o ângulo do suporte é ajustável, para atender às necessidades dos clientes para uniformidade em maior medida. Rotação 5-30 r / min, mudança de velocidade contínua.
Disco de peça única arqueado, para atender clientes’ precisa de uniformidade em uma extensão maior. Rotação 5-30 r / min, mudança de velocidade contínua.
Disco de peça única arqueado, para atender clientes’ precisa de uniformidade em uma extensão maior. Rotação 5-30 r / min, mudança de velocidade contínua.
Sistema de vácuo
Unidade: bomba de difusão DIP-12000 (Leybold), Bomba de raízes ZJY-300, bomba mecânica 2X-70, bomba de manutenção 2X-8. A tubulação é 304 aço inoxidável.
Unidade: Bomba de difusão KT-400 (Zhenhua), Bomba de raízes ZJY-150, bomba mecânica 2X-70, bomba de manutenção 2X-8.
Unidade: bomba de difusão KT-600 (Zhenhua), Bomba de raízes ZJY-600, bomba mecânica 2X-70, bomba de manutenção 2X-8.
Unidade: Bomba de difusão KT-800 (Zhenhua), Bomba de raízes ZJY-600, bomba mecânica 2X-70, bomba de manutenção 2X-8.
Vácuo final: melhor do que 4 × 10-4 Pa.
Equipado com dispositivo anti-turbulência, design de bloqueio de segurança, opcional manual e automático.
Aquecedor
Método de aquecimento no tubo de aquecimento, Controle PID, máximo 350 ℃ ± 1,5 ℃.
Inflação de gás de trabalho
Instrumento de controle de fluxo de massa de gás ou ajuste fino manual da válvula de inflação.
Bombardeio de ionização a vácuo
DC 3KV, 06KW haste catodo (usado para limpar a peça de trabalho antes do revestimento).
Fonte de evaporação (opcional)
1. TELEMARK-270 ° eletron gun (importado), 6KW, alta tensão 4KV-10KV ajustável. Varredura de posicionamento, varredura de onda triangular, varredura circular, varredura espiral. Bom foco de feixe, alta precisão de posicionamento, e boa reprodutibilidade de digitalização.
2. Canhão de elétrons doméstico (Zhenhua): 6KW, alta tensão 4KV ~ 8KV ajustável, pode escolher a onda triangular, onda senoidal, varredura de onda quadrada livremente.
3. Cadinho: Cadinho de seis cavidades Φ38 × 20 ou cadinho de quatro cavidades Φ38 × 20 mais cadinho em forma de arco de uma cavidade com um comprimento de arco central de 87 (usado para alto consumo de materiais de evaporação de baixo ponto de fusão) ou cadinho de quatro cavidades Φ48 × 18.
Fonte de íons (opcional)
1. RF (Frequência de rádio) Fonte de íons (Importado).
2. 5Fonte de íons KVA Hall (produzido por Zhenhua), usado para limpeza antes da galvanoplastia ou galvanoplastia auxiliar no processo de galvanoplastia, o que é benéfico para melhorar o índice de refração do filme, a firmeza, e a densidade e adesão do filme.
Sistema de controle de espessura de filme (seleção)
1. Controlador de cristal MDC-360 (importado) pode armazenar 1 ~ 99 camadas de processo de revestimento automático, 99 tipos de dados do programa, precisão 0.5%+1? Erro corrigido. Controlador de cristal TELEMARK-880 (importar): pode armazenar 1 ~ 99 camadas de processo de revestimento automático, 99 tipos de dados de programa. 精度 0,5% + 1? Erro corrigido.
3. Controlador óptico TELEMARK-820 (importar): adota tecnologia de análise de ponto final de espectro total de comprimento de onda, e julga o final do filme analisando a transmitância (ou refletância) curva da folha do monitor 370-870 mm. Alta precisão de controle, controle de comprimento de onda único, controle automático e controle manual também podem ser usados. Software adicional de cálculo de filme MACILEOD, alto grau de integração.
4. O controlador óptico TELEMARK-820 e o controlador de cristal TELEMARK-880 podem atender aos requisitos de revestimento de alta precisão e alta repetibilidade. Coopere com o computador host para realizar o controle totalmente automático.
5. Controlador óptico doméstico (tal como 9704 monocromador correspondente, etc.), o comprimento de onda é ajustável de 330 para 870, e a precisão pode chegar a ± 1,5 nm.
Comunicador
Com base magnética, pode ser colocado em qualquer posição da porta da câmara de vácuo e gabinete de controle.

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