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Novo tipo de método de fabricação de alvo de liga de titânio-alumínio

2021年10月10日

Atualmente, As principais fábricas de alvos de pulverização catódica do mundo usam dois métodos diferentes para a fabricação de alvos de pulverização catódica de liga de alumínio. Feito por moldagem por spray. No que diz respeito aos métodos de fundição / forjamento conhecidos, durante a produção de alvos de pulverização catódica de liga de alumínio, a adição de elementos de liga muitas vezes causa a segregação dos alvos de pulverização catódica da liga de alumínio, o que, por sua vez, torna a qualidade dos filmes de pulverização mais pobre e A superfície do alvo de pulverização é propensa a produzir micropartículas, que também afetará a uniformidade das propriedades do filme. Se o alvo de pulverização catódica de liga de alumínio for feito pelo método de formação por pulverização conhecido, embora as desvantagens relacionadas acima mencionadas possam ser evitadas, vai atingir o alvo de pulverização catódica. O custo de produção aumentou muito, especialmente ao fazer alguns alvos de pulverização catódica que não são fáceis de forjar e devem usar equalização a quente, o custo será aumentado devido ao uso de equalização a quente.

A fim de tornar o processo de produção de alvos de liga de titânio-alumínio mais fácil e com menor custo, aqui está um método de fazer alvos de pulverização catódica de liga de alumínio com pó de spray de gás. Comparado com o pó de matéria-prima do alvo de pulverização catódica, o pó da liga é peneirado para obter o tamanho de partícula de pó apropriado, e finalmente o pó é prensado a vácuo a quente para fazer o alvo de pulverização catódica de liga de alumínio. Este método de fazer alvos de pulverização catódica de liga de alumínio com pó de pulverização de ar pode ser aplicado à produção de vários alvos de pulverização catódica de liga de alumínio (alumínio-cromo, alumínio-silício-cobre, alumínio-titânio, etc.). As etapas de implementação preferidas são: fornecer matérias-primas de metal para fazer alvos de pulverização catódica de liga de alumínio e fundi-los em metal fundido; então, use o método de pulverização de gás para fazer pós de metal a partir do metal fundido; finalmente, aquecer os pós de metal com vácuo. Formado em liga de alumínio, material alvo de pulverização catódica, e passar o gás inerte como gás de proteção. Este método pode evitar as deficiências de segregação de material e micropartículas, e tornar os alvos de pulverização catódica de alta qualidade mais rápidos e baratos.

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