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Fabricação e aplicação de alvos de pulverização catódica de titânio e alumínio revestidos com PVD

2021年9月17日

Método de fundição tradicionalmente usado e método de metalurgia do pó para produzir alvo de liga de titânio e alumínio.

 

O método de fundição de alvos de liga de titânio e alumínio não pode evitar a porosidade e encolhimento. Lingotes e tubos fundidos de titânio e alumínio de tamanho grande não podem garantir a vedação e o efeito à prova d'água ao fazer o alvo do tubo rotativo, e como a parede do tubo é gravada, a espessura da parede muda Fino, orifícios soltos e de contração, desde que haja um orifício conectado, a vedação ficará pior, os mais leves vão vazar, o tubo alvo começará a descarregar, ou uma grande quantidade de impureza participará da reação e fará com que o filme caia ou a cor fique errada. Em casos graves, a água é injetada diretamente da cavidade de contração para a câmara de vácuo, que contaminará a cavidade real e a unidade de vácuo.

 

Produção do processo de metalurgia do póAlvo de alumínio titânioNão há problema de porosidade e encolhimento, mas do ponto de vista microscópico da metalurgia do pó, também é um material poroso, então se você quiser fazerAlvo de tubo rotativo de alumínio titânio, Os requisitos para compactação do material são muito rígidos, a densidade deve ser maior que 98%, mas atender aos requisitos de densidade não significa que ele possa ser usado. Se o teor de oxigênio do lingote de titânio e alumínio for alto e a microestrutura não for razoável, a tensão interna do lingote de titânio e alumínio é grande, e é fácil colapsar, e não pode ser usado como um alvo de tubo rotativo. Portanto, existem muitos requisitos para a produção de pó e proporção de tamanho de partícula ... Mesmo se essas condições forem atendidas, o anel de alumínio de titânio para metalurgia do pó precisa ser amarrado ao tubo de aço inoxidável ou ao tubo de titânio. Devido ao grande coeficiente de expansão térmica do alumínio titânio, a expansão do alvo local pode chegar a zero durante a pulverização catódica .. 5 ~ 1m, portanto, o método tradicional de ligar lingotes não pode resolver este problema de forma eficaz. A separação de lingotes de titânio e alumínio ocorre, e a energia térmica da superfície do alvo não pode ser conduzida e estoura .. No entanto, o vínculo estreito não é confiável, e a qualidade do alvo de liga de alumínio e titânio pulverizado com plasma é pobre..

 

Revestimento decorativo ouro rosa no relógio, jóia, e indústrias de óculos. Recentemente, muitos requisitos não contêm carbono e tornam a cor rosa subjacente próxima ao ouro rosa facial. Em nossa opinião, TiCN não pode mais atender aos requisitos. TiAlN é a solução mais perfeita. As joias de relógios de baixo custo não têm requisitos de espessura de filme e brilho. A maioria deles usa alvos de alumínio de titânio de arco para depositar TiAlN. Relógios de marcas sofisticadas exigem uma espessura de mais de 1um e brilho. Não pode cair. O arco é afetado por gotículas e não tem nenhuma vantagem em filme liso e espesso.O'KellyPode ser visto a partir do feedback do pedido de fornecimento atual que a melhor maneira é depositar TiAIN com um alvo de tubo giratório, não só a cor é mais próxima do ouro rosa, mas o brilho não será afetado depois que a espessura for aumentada..

 

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