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Como preparar alvo de pulverização catódica

202119 de outubro

Alvo de pulverização catódica refere-se a uma fonte de pulverização catódica que é pulverizada e depositada em um substrato por pulverização catódica de magnetron, galvanização de íons de arco múltiplo ou outros tipos de equipamento de revestimento sob condições de processo apropriadas para formar vários filmes finos funcionais. Os alvos de metamorfose são amplamente utilizados em muitos campos, como decoração, ferramentas, copo, dispositivos eletrônicos, semicondutores, gravação magnética, tela plana, células solares, etc. Os materiais de destino necessários em diferentes campos são diferentes.

Preparação do alvo de pulverização catódica

A preparação de materiais alvo de pulverização catódica pode ser dividida em duas categorias: fundição fundida e metalurgia do pó de acordo com o processo. Além de controlar estritamente a pureza, densidade, tamanho do grão e orientação do cristal do material, as condições de tratamento térmico e métodos de processamento subsequentes também precisam ser estritamente controlados. ao controle.

1. Metalurgia do pó
Ao preparar alvos por metalurgia do pó, a chave está em: (1) selecionar pó de alta pureza e pó ultrafino como matéria-prima; (2) selecionar uma tecnologia de formação e sinterização que pode atingir uma densificação rápida para garantir a baixa porosidade do alvo e controlar o tamanho do grão; (3) O processo de preparação controla estritamente a introdução de elementos de impureza.

2. Método de fundição por fusão
O método de fundição por fusão é um dos métodos básicos para fazer alvos de pulverização catódica. A fim de garantir que o conteúdo de elementos de impureza no lingote seja o mais baixo possível, sua fundição e fundição são geralmente realizadas sob vácuo ou atmosfera protetora., durante o processo de fundição, é inevitável que haja uma certa porosidade dentro da estrutura do material. Esses poros farão com que as partículas espirrem durante o processo de pulverização catódica, afetando assim a qualidade do filme pulverizado .. Por este motivo, processos de processamento térmico e tratamento térmico de acompanhamento são necessários para reduzir sua porosidade.

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