Bem-vindo ao nosso site
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Notícia

» Notícia

Análise do problema de envenenamento e escurecimento da metade alvo após pulverização catódica

202131 de agosto

 

Pergunta: A tecnologia de pulverização catódica reativa de magnetron deposita filme de nitreto de zircônio, o alvo tem duas polegadas, o gás de pulverização catódica é argônio, o gás reativo é N2, a potência é 300W, a fonte de alimentação de radiofrequência, o depoimento é de duas horas, e o alvo é retirado após a conclusão. Veja o fenômeno descrito no título, se é envenenamento de alvo ou outras razões, mas por que apenas metade dele aparece?

Análise de razão 1: Pode estar relacionado à introdução de energia de radiofrequência

Análise de razão 2: Um alvo tão pequeno, duas polegadas?O resfriamento é uniforme?

Análise de razão 3: 300A potência W é adicionada a um alvo tão pequeno, o resfriamento pode se manter; Suspeita-se que o resfriamento não é bom, causando metade do preto!

Análise de razão 4: resfriamento insuficiente. A temperatura está muito alta?

Análise de razão 5: Pode estar relacionado ao alto poder. Só me atrevo a aumentar a potência do alvo com um diâmetro de 60 a cerca de 100W.

Análise de causa 6: A fonte de alimentação é estável em duas horas? Pode ser que a energia esteja muito alta, ou pode ser que o lado do alvo toque um componente aterrado

Análise de razão 7: Suspeita-se que há um problema de estanqueidade, pensar pessoalmente

Solução 1: Sugestão 1) Verifique a uniformidade do gás; 2) Se há vazamento de ar de um lado?

Solução 2: Recomenda-se fazer uma análise XPS, ou faça a experiência novamente.

Resumo: Com base na análise acima, os principais motivos que fazem com que o alvo seja envenenado e preto são temperatura excessivamente alta, fonte de alimentação instável, uniformidade do gás e estanqueidade. Verifique essas possíveis causas principais, e solucioná-los passo a passo.

Talvez você goste também

  • Categorias

  • Notícias recentes & Blog

  • Compartilhe com um amigo

  • COMPANHIA

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantalum Nióbio Metal Material Co., Ltd. é uma empresa chinesa especializada no processamento de metais não ferrosos, atendendo clientes globais com produtos de alta qualidade e serviço pós-venda perfeito.

  • Contate-Nos

    Móvel:86-400-660-1855
    E-mail:[email protected] aliyun.com
    Rede:www.chn-ti.com