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Vantagens de alvos de pulverização catódica de magnetron cilíndricos e planos

2021年10月19日

Em comparação com outras formas de alvos de pulverização catódica de magnetron, Os alvos de pulverização de magnetron cilíndrico e planar retêm as vantagens de uma boa uniformidade de revestimento para alvos planos retangulares, e pode maximizar o material alvo através das seguintes duas formas: Taxa de utilização:

(1) Quando os dois grupos (quatro) dos poços em forma de anel na superfície do alvo atingem uma certa profundidade, o núcleo alvo (parte do ímã) pode ser girado 45 ° em relação ao tubo alvo, de modo que as outras áreas do tubo alvo que não foram corroídas possam ser

(2) Quando o núcleo alvo do alvo de pulverização catódica de magnetron cilíndrico e plano é projetado como um núcleo alvo rotativo, (o núcleo alvo está girando durante a pulverização catódica), a superfície do material alvo pode ser pulverizada uniformemente camada por camada, e não haverá covas. Neste momento, o material alvo será usado de forma mais eficaz, e a taxa de utilização do material alvo pode atingir 50% para 60%. Quando o material alvo é um metal precioso, isso é, sem dúvida, de grande significado..

Ao adotar o princípio do ímã e da sapata no alvo de pulverização catódica do magnetron cilíndrico coaxial para resolver o problema do campo magnético final, o alvo plano retangular pode evoluir para um formato cilíndrico, alvo de pulverização de magnetron planar, que retém o revestimento do alvo plano retangular no caso de boa uniformidade, a taxa de utilização do material alvo pode ser maximizada, melhorando assim os benefícios econômicos.

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