Witamy na naszej stronie internetowej
0086-18429179711 [email protected]

Wiadomości przemysłowe

» Aktualności » Wiadomości przemysłowe

Zasada celu rozpylania magnetronowego napylania

202131 sierpnia

 

Zasada rozpylania docelowego rozpylania magnetronowego:

Pomiędzy napylonym celem dodaje się prostopadłe pole magnetyczne i pole elektryczne (katoda) i anoda, i wymagany gaz obojętny (zwykle gaz Ar) jest wypełniony w komorze wysokiego podciśnienia. Tworzy się magnes trwały 250-350 na powierzchni materiału docelowego. Gaussowskie pole magnetyczne, a pole elektryczne wysokiego napięcia tworzy ortogonalne pole elektromagnetyczne.

Pod działaniem pola elektrycznego, Gaz Ar jonizuje się w jony dodatnie i elektrony. Pewne ujemne wysokie napięcie jest przykładane do celu. Na elektrony emitowane z tarczy oddziałuje pole magnetyczne i wzrasta prawdopodobieństwo jonizacji gazu roboczego, tworzenie plazmy o dużej gęstości w pobliżu katody. Pod działaniem siły Lorentza, Jony Ar przyspieszają do powierzchni docelowej i bombardują ją z dużą prędkością, aby atomy napylone z tarczy działały zgodnie z zasadą konwersji pędu i odlatywały z powierzchni tarczy z większą energią kinetyczną. Osadzanie podłoża na folii.

Rozpylanie magnetronowe jest generalnie podzielone na dwa typy: napylanie dopływowe i napylanie częstotliwościami radiowymi. Zasada działania sprzętu do napylania dopływowego jest prosta, a jego szybkość jest również szybka podczas napylania metali. Zakres zastosowań napylania częstotliwości radiowej jest szerszy;. Oprócz napylania materiałów przewodzących, materiały nieprzewodzące mogą być również napylane. W tym samym czasie, może również prowadzić rozpylanie reaktywne w celu przygotowania materiałów złożonych, takich jak tlenki, azotki, I węgliki.. Jeśli częstotliwość częstotliwości radiowej jest zwiększona,, staje się plazmowym rozpylaniem mikrofalowym. Obecnie, elektronowy rezonans cyklotronowy (ECR) powszechnie stosowane jest napylanie plazmowe typu mikrofalowego..

Może ty też lubisz

  • Kategorie

  • Ostatnie wiadomości & Blog

  • Udostępnij znajomemu

  • SPÓŁKA

    Shaanxi Zhongbei Tytan Tantal Niob Metal Material Co., Sp. z o.o. jest chińskim przedsiębiorstwem specjalizującym się w obróbce metali nieżelaznych, obsługując globalnych klientów produktami wysokiej jakości i doskonałą obsługą posprzedażną,.

  • Skontaktuj się z nami

    mobilny:86-400-660-1855
    E-mail:[email protected]
    Sieć:www.chn-ti.com