Velkommen til vår hjemmeside
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Industrielle nyheter

» Nyheter » Industrielle nyheter

Prinsippet om forstøvning av målmagnetronforstøvning

2021年8月31日

 

Magnetron -sprutprinsipp: legg til et ortogonalt magnetfelt og elektrisk felt mellom det sprutede målet (katode) og anoden, og sprutemålet er fylt med nødvendig inert gass (vanligvis Ar gass) i høyt vakuumkammeret. Den permanente magnet danner en 250-350 Gauss magnetfelt på overflaten av målmaterialet, og danner et ortogonalt elektromagnetisk felt med det høyspente elektriske feltet..

Under virkningen av det elektriske feltet, Ar gass ioniserer til positive ioner og elektroner. En viss negativ høyspenning påføres målet. Elektronene som sendes ut fra målet påvirkes av magnetfeltet og ioniseringssannsynligheten for arbeidsgassen øker, danner et plasma med høy tetthet nær katoden. Under handlingen av Lorentz -kraften, Arioner akselererer til måloverflaten og bombarderer måloverflaten i høy hastighet, slik at atomene som sprutet ut av målet følger prinsippet om momentumkonvertering og flyr vekk fra overflaten med høyere kinetisk energi. Substratavsetning til film. Magnetronforstøvning er vanligvis delt inn i to typer: DC -sputtering og radiofrekvensforstøvning. Prinsippet for DC sputtering utstyr er enkelt. Ved sprut av metall, prisen er også rask..

Bruksområdet for radiofrekvensforstøvning er mer omfattende. I tillegg til å sprute ledende materialer, ikke-ledende materialer kan også sprutes. Samtidig, den kan også utføre reaktiv forstuing for å fremstille sammensatte materialer som oksider, nitrider, og karbider..Når frekvensen av sprutmålets radiofrekvens økes, det blir mikrobølge plasma plutring. Nåværende, elektron -syklotronresonans (ECR) type mikrobølge plasma plutring er ofte brukt..

Kanskje du liker det også

  • Kategorier

  • Nylige nyheter & Blogg

  • Del til en venn

  • SELSKAP

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantal Niobium Metal Material Co., Ltd.. er et kinesisk foretak som spesialiserer seg på behandling av ikke-jernholdige metaller, betjener globale kunder med produkter av høy kvalitet og perfekt ettersalgsservice.

  • Kontakt oss

    Mobil:86-400-660-1855
    E-post:[email protected] aliyun.com
    Internett:www.chn-ti.com